التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Influence of the Geometric Parameters on the Deposition Mode in Spatial Atomic Layer Deposition: A Novel Approach to Area-Selective Deposition |
| المؤلفون: |
Huerta, César Masse de La, Nguyen, Viet Huong, Dedulle, Jean Marc, Bellet, Daniel, Jiménez, Carmen, Munoz-Rojas, David |
| المساهمون: |
Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-16-CE05-0021,DESPATCH,Développement de la méthode à séparation spatiale de dépôt par couches atomiques assistée plasma pour des applications photovoltaïques(2016), European Project: 801464,SPRINT |
| المصدر: |
E‐MRS Spring Meeting ; https://hal.science/hal-04762090 ; E‐MRS Spring Meeting, May 2019, Nice, France |
| بيانات النشر: |
HAL CCSD |
| سنة النشر: |
2019 |
| المجموعة: |
Université Grenoble Alpes: HAL |
| مصطلحات موضوعية: |
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry |
| جغرافية الموضوع: |
Nice, France |
| Time: |
Nice, France |
| الوصف: |
International audience |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
English |
| Relation: |
info:eu-repo/grantAgreement//801464/EU/Ultra-versatile Structural PRINTing of amorphous and tuned crystalline matter on multiple substrates/SPRINT |
| الاتاحة: |
https://hal.science/hal-04762090 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.93C29734 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |