Characterization of nano-structured surfaces by EUV scatterometry

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Characterization of nano-structured surfaces by EUV scatterometry
المؤلفون:	Scholze, F, Kato, A, Laubis, C
المصدر:	Journal of Physics: Conference Series ; volume 311, page 012006 ; ISSN 1742-6596
بيانات النشر:	IOP Publishing
سنة النشر:	2011
نوع الوثيقة:	article in journal/newspaper
اللغة:	unknown
DOI:	10.1088/1742-6596/311/1/012006
الاتاحة:	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/311/1/012006 http://stacks.iop.org/1742-6596/311/i=1/a=012006/pdf
رقم الانضمام:	edsbas.91A75B5
قاعدة البيانات:	BASE

الوصف
DOI:	10.1088/1742-6596/311/1/012006