Conference
Design of UV LED illumination system for direct imaging lithography
| العنوان: | Design of UV LED illumination system for direct imaging lithography |
|---|---|
| المؤلفون: | Yin, Shaoyun, Jiang, Haibo, Sun, Xiuhui, Yang, Ruofu, Chen, Jianjun, Xie, Lin |
| المساهمون: | Wang, Yongtian, Tatsuno, Kimio, Kidger, Tina E. |
| المصدر: | Optical Design and Testing VIII |
| بيانات النشر: | SPIE |
| سنة النشر: | 2018 |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | unknown |
| DOI: | 10.1117/12.2500955 |
| الاتاحة: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2500955 |
| رقم الانضمام: | edsbas.86C3F9A5 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1117/12.2500955 |
|---|