التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Multi-height pillars replication from a grayscale resist master by nanoimprint process |
| المؤلفون: |
Warsono, Api, Fernandez Rodas, Diana, Rêche, Jérôme, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Sabbione, Chiara |
| المساهمون: |
Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo |
| المصدر: |
Novel Patterning Technologies 2024 |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2024 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.3014929 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.3014929 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.848C07A9 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |