Academic Journal
Sub-10-nm Nanochannels by Self-Sealing and Self-Limiting Atomic Layer Deposition
| العنوان: | Sub-10-nm Nanochannels by Self-Sealing and Self-Limiting Atomic Layer Deposition |
|---|---|
| المؤلفون: | Nam, Sung-Wook, Lee, Min-Hyun, Lee, Seung-Hyun, Lee, Do-Joong, Rossnagel, S. M., Kim, Ki-Bum |
| المصدر: | Nano Letters ; volume 10, issue 9, page 3324-3329 ; ISSN 1530-6984 1530-6992 |
| بيانات النشر: | American Chemical Society (ACS) |
| سنة النشر: | 2010 |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| اللغة: | English |
| DOI: | 10.1021/nl100999e |
| الاتاحة: | http://dx.doi.org/10.1021/nl100999e https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/nl100999e |
| رقم الانضمام: | edsbas.7EE9DC79 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1021/nl100999e |
|---|