التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Tailored Voltage Waveform Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Films from Hydrogen-Diluted Silane and Silicon Tetrafluoride: Optoelectronic Properties of Films |
| المؤلفون: |
Johnson, Erik V., Pouliquen, Sylvain, Delattre, Pierre-Alexandre, Booth, Jean-Paul |
| المصدر: |
Japanese Journal of Applied Physics ; volume 51, issue 8S1, page 08HF01 ; ISSN 0021-4922 1347-4065 |
| بيانات النشر: |
IOP Publishing |
| سنة النشر: |
2012 |
| نوع الوثيقة: |
article in journal/newspaper |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.7567/jjap.51.08hf01 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.7567/jjap.51.08hf01 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.7D7057C3 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |