التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Interaction of a variety of ashing plasma with MSQ low-k dielectric |
| المؤلفون: |
Le, Quoc Toan, Patz, M, Struyf, Herbert, Baklanov, Mikhaïl, Boullart, Werner, Vanhaelemeersch, Serge, Maex, Karen |
| بيانات النشر: |
ECS |
| سنة النشر: |
2004 |
| المجموعة: |
KU Leuven: Lirias |
| الوصف: |
status: published |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
English |
| Relation: |
Extended Abstracts of the 205th Meeting of the Electrochemical Society location:San Antonio, TX, USA date:09/05/04; https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/68528 |
| الاتاحة: |
https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/68528 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.71CE1FB2 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |