التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Non-Integral Depth Measurement of High-Aspect-Ratio Multi-Layer Microstructures Using Numerical-Aperture Shaped Beams |
| المؤلفون: |
CHEIN, WEI-HSIN, YANG, FU-SHENG, THAKUR, KOMAL, WU, GUO-WEI, Chen, Liang-Chia |
| المصدر: |
SSRN Electronic Journal ; ISSN 1556-5068 |
| بيانات النشر: |
Elsevier BV |
| سنة النشر: |
2022 |
| المجموعة: |
ScienceDirect (Elsevier - Open Access Articles via Crossref) |
| نوع الوثيقة: |
article in journal/newspaper |
| اللغة: |
English |
| DOI: |
10.2139/ssrn.4139613 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.2139/ssrn.4139613 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.6F51818B |
| قاعدة البيانات: |
BASE |