Conference
Impact of template shape on CDU and pattern placement for grapho-epitaxy DSA
| العنوان: | Impact of template shape on CDU and pattern placement for grapho-epitaxy DSA |
|---|---|
| المؤلفون: | Boeckx, Carolien, Doise, Jan, Chan, BT, Gronheid, Roel, De Gendt, Stefan |
| سنة النشر: | 2016 |
| المجموعة: | KU Leuven: Lirias |
| الوصف: | status: published |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | English |
| Relation: | DSA Symposium; DSA Symposium location:Grenoble France date:2016-10-11; https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/566231; C34924 |
| الاتاحة: | https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/566231 |
| رقم الانضمام: | edsbas.6E2749E2 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |