التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| المؤلفون: |
Васильев, В. В., Лучанинов, А. А., Решетняк, Е. Н., Стрельницкий, В. Е., Толмачева, Г. Н., Прибытков, Г. А., Гурских, А. В., Криницын, М. Г. |
| المساهمون: |
Національна академія наук України |
| المصدر: |
Физическая инженерия поверхности; Том 13, № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні; 148 – 163 ; Фізична інженерія поверхні; Том 13, № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні; 148 – 163 ; 1999-8112 ; 1999-8074 |
| بيانات النشر: |
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна |
| سنة النشر: |
2015 |
| المجموعة: |
Karazin Kharkiv National University: E-Journals / Каразінський університет: Наукова періодика Каразінського університету |
| الوصف: |
Исследованы структура и фазовый состав катодных материалов системы Ti-Si, полученных спеканием смесей порошков титана, кремния и силицида титана Ti5Si3. Установлено, что спекание смесей Ti + Ti5Si3 позволяет получать качественные катодные материалы с содержанием кремния до 15 ат. %. Обнаружено, что в штатном режиме работы источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы возникают проблемы со стабильностью горения разряда, обусловленные возникновением дефектов на поверхности порошковых катодов. Использован способ подачи реакционного газа в вакуумную камеру через источник плазмы, что позволило добиться стабильной работы порошковых катодов при осаждении покрытий нитридов. В условиях использования высоковольтного импульсного потенциала смещения на подложку получены покрытия системы Ti-Si-N. Исследовано влияние параметров осаждения на состав, структуру и свойства покрытий. Определены условия, позволяющие синтезировать наноструктурные покрытия с высокой твердостью. |
| نوع الوثيقة: |
article in journal/newspaper |
| وصف الملف: |
application/pdf |
| اللغة: |
Ukrainian |
| Relation: |
http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553/4128; http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553 |
| الاتاحة: |
http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553 |
| Rights: |
(c) 2015 В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын |
| رقم الانضمام: |
edsbas.6DB656BD |
| قاعدة البيانات: |
BASE |