磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: 磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能
المؤلفون: 吕鹏辉, 倪浩明, 崔平, 陈建敏, 方前锋
سنة النشر: 2010
المجموعة: National Science Library: NSL OpenIR (Chinese Academy of Sciences) / 中国科学院文献情报中心机构知识库
مصطلحات موضوعية: 其他, 纳米复合
نوع الوثيقة: other/unknown material
اللغة: Chinese
Relation: 吕鹏辉,倪浩明,崔平,陈建敏,方前锋.磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能.2010.[url]; http://ir.las.ac.cn/handle/12502/3186
الاتاحة: http://ir.las.ac.cn/handle/12502/3186
رقم الانضمام: edsbas.56EB18EC
قاعدة البيانات: BASE