磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能
العنوان: | 磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能 |
---|---|
المؤلفون: | 吕鹏辉, 倪浩明, 崔平, 陈建敏, 方前锋 |
سنة النشر: | 2010 |
المجموعة: | National Science Library: NSL OpenIR (Chinese Academy of Sciences) / 中国科学院文献情报中心机构知识库 |
مصطلحات موضوعية: | 其他, 纳米复合 |
نوع الوثيقة: | other/unknown material |
اللغة: | Chinese |
Relation: | 吕鹏辉,倪浩明,崔平,陈建敏,方前锋.磁控溅射 MoSiCN 硬质薄膜的制备与性能.2010.[url]; http://ir.las.ac.cn/handle/12502/3186 |
الاتاحة: | http://ir.las.ac.cn/handle/12502/3186 |
رقم الانضمام: | edsbas.56EB18EC |
قاعدة البيانات: | BASE |
الوصف غير متاح. |