Conference
Developments of ALD Processes: Experiments and Thermodynamic Evaluations
| العنوان: | Developments of ALD Processes: Experiments and Thermodynamic Evaluations |
|---|---|
| المؤلفون: | Blanquet, E., Nuta, I., Brize, V., Boichot, R., Mantoux, A., Violet, P., Daniele, S. |
| المساهمون: | Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN), Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de recherches sur la catalyse et l'environnement de Lyon (IRCELYON), Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-Université de Lyon-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| المصدر: | 218th ECS Meeting https://hal.science/hal-00591213 218th ECS Meeting, Oct 2010, LAS VEGAS, NV, United States |
| بيانات النشر: | CCSD |
| سنة النشر: | 2010 |
| المجموعة: | Université François-Rabelais de Tours: HAL |
| مصطلحات موضوعية: | [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry |
| جغرافية الموضوع: | LAS VEGAS, NV, United States |
| الوصف: | International audience |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | English |
| الاتاحة: | https://hal.science/hal-00591213 |
| رقم الانضمام: | edsbas.560768A6 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |