التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Développements de dépôts ALD : expériences et évaluations thermodynamiques |
| المؤلفون: |
Blanquet, E., Nuta, I., Brize, V., Boichot, R., Violet, P., Daniele, S. |
| المساهمون: |
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN), Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de recherches sur la catalyse et l'environnement de Lyon (IRCELYON), Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-Université de Lyon-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| المصدر: |
Matériaux 2010 ; https://hal.science/hal-00591214 ; Matériaux 2010, Oct 2010, NANTES, France |
| بيانات النشر: |
CCSD |
| سنة النشر: |
2010 |
| المجموعة: |
Université François-Rabelais de Tours: HAL |
| مصطلحات موضوعية: |
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry |
| جغرافية الموضوع: |
NANTES, France |
| الوصف: |
International audience |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
English |
| الاتاحة: |
https://hal.science/hal-00591214 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.53487E23 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |