Academic Journal
Вплив основних робочих параметрів стрічкового потоку електронів на якість отримуваного мікрорельєфу поверхні оптичного скла ; The influence of the main operating parameters of the ribbon-shaped flow of electrons on the quality of the obtained microrelief on the optical glass surface
| العنوان: | Вплив основних робочих параметрів стрічкового потоку електронів на якість отримуваного мікрорельєфу поверхні оптичного скла ; The influence of the main operating parameters of the ribbon-shaped flow of electrons on the quality of the obtained microrelief on the optical glass surface |
|---|---|
| المؤلفون: | Жайворонок, Ігор, Коваленко, Олександр Володимирович |
| بيانات النشر: | Вісник Черкаського державного технологічного університету. Технічні науки |
| سنة النشر: | 2022 |
| المجموعة: | ChSTU repository (Cherkasy State Technological University) / Репозиторій ЧДТУ (Черкаський державний технологічний університет) |
| مصطلحات موضوعية: | стрічковий потік електронів, визначення робочих параметрів, зондовий метод, мікрорельєф поверхні, оптичне скло, ribbon flow of electrons, determination of operating parameters, probe method, surface microrelief, optical glass |
| الوصف: | У статті наведено результати дослідження впливу основних робочих параметрів стрічкового потоку електронів на якість мікрорельєфу поверхні оптичного скла. Встановлено залежність впливу основних робочих параметрів (форми, розміру та розподілу густини струму) низькоенергетичного електронного потоку стрічкової форми на якість мікрорельєфу поверхні оптичного скла сорту «крон». Це дозволило оцінити процес взаємодії потоку електронів з поверхнею оптичного скла. Також було встановлено, що корисний струм потоку електронів становить близько 30 % від загального струму емісії катода електронної гармати. Показано, що на точність визначення робочих параметрів стрічкового потоку електронів методом зондування можуть впливати такі фактори: зменшення діаметра зондів під впливом потоку електронів та нагрівання зондів під час вимірювання. При цьому сумарна похибка зондового методу визначення густини струму потоку електронів не перевищувала 8 %. Методом атомносилової мікроскопії встановлено, що після оброблення поверхонь оптичного скла сорту «крон» низькоенергетичним електронним пучком стрічкоподібної форми за умови забезпечення раціональної форми, розміру та розподілу густини струму як у робочому просторі, так і на обробленій поверхні нерівності зменшуються від 40-75 нм до 3,5-5 нм. ; The article presents the results of the study of the influence of the main operating parameters of the ribbon-shaped flow of electrons on the quality of the microrelief on the optical glass surface. The purpose of the work is to determine the influence of the main operating parameters of the ribbonshaped flow of electrons (shape, size and distribution of the electron current density) on the quality of the optical glass surface (absence of micro- and macro-defects on the surface, minimal residual micro-uniformities, etc.). The dependence of the influence of the main operating parameters of the lowenergy ribbon-shaped flow of electrons on the quality of the surface microrelief of the "crown" optical glass is established, which makes it possible to ... |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| وصف الملف: | application/pdf |
| اللغة: | Ukrainian |
| Relation: | 2306-4412 (print); 2708-6070 (online); https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/4301 |
| DOI: | 10.24025/2306-4412.3.2022.266662 |
| الاتاحة: | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/4301 https://doi.org/10.24025/2306-4412.3.2022.266662 |
| رقم الانضمام: | edsbas.4A8D28E5 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.24025/2306-4412.3.2022.266662 |
|---|