التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Validating optical proximity correction with models, masks, and wafers |
| المؤلفون: |
Marokkey, Sajan, Conrad, Edward W., Gallagher, Emily E., Ikeda, Hidehiro, Bruce, James A., Lawliss, Mark |
| المساهمون: |
Naber, Robert J., Kawahira, Hiroichi |
| المصدر: |
SPIE Proceedings ; Photomask Technology 2007 ; ISSN 0277-786X |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2007 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.746685 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.746685 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.4A11ABEF |
| قاعدة البيانات: |
BASE |