미세 소자 배선 형성용 구리 전해 도금 시 단차 평탄화 공정을 위한 BTA의 작용 연구

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	미세 소자 배선 형성용 구리 전해 도금 시 단차 평탄화 공정을 위한 BTA의 작용 연구
المؤلفون:	황순식
المساهمون:	김재정, 화학생물공학부
بيانات النشر:	서울대학교 대학원
سنة النشر:	2006
المجموعة:	Seoul National University: S-Space
مصطلحات موضوعية:	구리, copper, 전해 도금, electrodeposition, 단차, surface topographic variation, 평탄제, leveler, 평탄화 공정, leveling, 과전착, overdeposition, 유기 첨가제, organic additive, BTA (benzotriazole)
الوصف:	학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006. ; Master
نوع الوثيقة:	thesis
وصف الملف:	vii, 75 장
اللغة:	Korean
Relation:	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047893; http://hdl.handle.net/10371/13433
الاتاحة:	http://hdl.handle.net/10371/13433 http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047893
رقم الانضمام:	edsbas.483DCDBB
قاعدة البيانات:	BASE

الوصف
الوصف غير متاح.