التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
C12/02- and Cl2-based Inductively Coupled Plasma Etching of Photonic Crystals in InP: Sidewall Passivation |
| المؤلفون: |
Van Der Heijden, R. (author), Carlström, C.F. (author), Van Der Drift, E. (author), Van Der Heijden, R.W. (author), Nötzel, R. (author), Van Veldhoven, R. (author), Karouta, F. (author), Salemink, H.W.M. (author), Talneau, A. (author) |
| سنة النشر: |
2005 |
| المجموعة: |
Delft University of Technology: Institutional Repository |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
English |
| Relation: |
2005 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials; http://resolver.tudelft.nl/uuid:660a2eed-99dc-4d26-a376-bbb3d6794c29 |
| الاتاحة: |
http://resolver.tudelft.nl/uuid:660a2eed-99dc-4d26-a376-bbb3d6794c29 |
| Rights: |
(c) 2004 Van Der Heijden, R.; Carlström, C.F.; Van Der Drift, E.; Van Der Heijden, R.W.; Nötzel, R.; Van Veldhoven, R.; Karouta, F.; Salemink, H.W.M.; Talneau, A. |
| رقم الانضمام: |
edsbas.437F8FC3 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |