التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Automatic control and machine learning for semiconductor manufacturing: Review and challenges |
| المؤلفون: |
Susto, G. A., Pampuri, S., Schirru, A., De Nicolao, G., McLoone, S., Beghi, A. |
| المساهمون: |
Susto, G. A., Pampuri, S., Schirru, A., De Nicolao, G., Mcloone, S., Beghi, A. |
| سنة النشر: |
2012 |
| المجموعة: |
Padua Research Archive (IRIS - Università degli Studi di Padova) |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
English |
| Relation: |
ispartofbook:10th European Workshop on Advanced Control and Diagnosis; 10th European Workshop on Advanced Control and Diagnosis; http://hdl.handle.net/11577/3350597; info:eu-repo/semantics/altIdentifier/scopus/2-s2.0-84970889517 |
| الاتاحة: |
http://hdl.handle.net/11577/3350597 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.40AA860 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |