Measuring the Ion Flux to the Deposition Substrate in the Hollow Cathode Plasma Jet

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Measuring the Ion Flux to the Deposition Substrate in the Hollow Cathode Plasma Jet
المؤلفون: Virostko, P., Hubička, Z., Čada, M., Adámek, P., Kment, Š., Tichý, M., Jastrabík, L., Hartfuss, Hans-Jürgen, Dudeck, Michel, Musielok, Jozef, Sadowski, Marek J.
المصدر: AIP Conference Proceedings ; volume 993, page 427-430 ; ISSN 0094-243X
بيانات النشر: AIP
سنة النشر: 2008
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1063/1.2909167
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.2909167
رقم الانضمام: edsbas.3FC6BA05
قاعدة البيانات: BASE