التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: |
Measuring the Ion Flux to the Deposition Substrate in the Hollow Cathode Plasma Jet |
المؤلفون: |
Virostko, P., Hubička, Z., Čada, M., Adámek, P., Kment, Š., Tichý, M., Jastrabík, L., Hartfuss, Hans-Jürgen, Dudeck, Michel, Musielok, Jozef, Sadowski, Marek J. |
المصدر: |
AIP Conference Proceedings ; volume 993, page 427-430 ; ISSN 0094-243X |
بيانات النشر: |
AIP |
سنة النشر: |
2008 |
نوع الوثيقة: |
conference object |
اللغة: |
unknown |
DOI: |
10.1063/1.2909167 |
الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1063/1.2909167 |
رقم الانضمام: |
edsbas.3FC6BA05 |
قاعدة البيانات: |
BASE |