التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Absolute coordinate system adjustment and calibration by using standalone alignment metrology system |
| المؤلفون: |
Ando, Satoshi, Saito, Haruki, Tanaka, Sayuri, Kawata, Tetsuya, Okamoto, Takanobu, Makino, Katsushi, Shiba, Yuji, Yahiro, Takehisa, Ishikawa, Jun, Morita, Masahiro |
| المساهمون: |
Adan, Ofer, Robinson, John C. |
| المصدر: |
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2021 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2583695 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.2583695 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.3EF15BB |
| قاعدة البيانات: |
BASE |