Dissertation/ Thesis
Optimisation de jets photoniques pour l’augmentation de la résolution spatiale de la gravure directe par laser ; Photonic jet for spatial resolution improvement in direct pulse near-IR laser micro-etching
| العنوان: | Optimisation de jets photoniques pour l’augmentation de la résolution spatiale de la gravure directe par laser ; Photonic jet for spatial resolution improvement in direct pulse near-IR laser micro-etching |
|---|---|
| المؤلفون: | Abdurrochman, Andri |
| المساهمون: | Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (ICube), École Nationale du Génie de l'Eau et de l'Environnement de Strasbourg (ENGEES)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Institut National des Sciences Appliquées - Strasbourg (INSA Strasbourg), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Matériaux et nanosciences d'Alsace (FMNGE), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Réseau nanophotonique et optique, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA), Université de Strasbourg, Joël Fontaine, Sylvain Lecler |
| المصدر: | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747 ; Optics / Photonic. Université de Strasbourg, 2015. English. ⟨NNT : 2015STRAD028⟩. |
| بيانات النشر: | HAL CCSD |
| سنة النشر: | 2015 |
| المجموعة: | Archive ouverte HAL (Hyper Article en Ligne, CCSD - Centre pour la Communication Scientifique Directe) |
| مصطلحات موضوعية: | Optical fiber etching, Spheroid-tip optical fiber, Difraction limit, Glass microsphere, Direct laser etching, Photonic jet, Silicium, Jet photonique, Gravure directe par laser, Microsphère en verre, Limite de diffraction, Fibre optique, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic |
| الوصف: | This work has shown that the lateral resolution etching using near infrared lasers nanoseconds could be reduced by passing the beam through a glass microsphere or a silica fibers with spheroid shape in such a way to generate photonic jets. Etching on silicon size with a glass microsphere can be reduced by a factor of 44 compared to that of a direct etching without photonic jet. Powers reached densities allow even consider burning the glass with this type of laser, despite its very low absorption at these wavelengths. For the first time we have shown the possibility of obtaining photonic jets coming-out of a spheroid-tip of fiber optic. We also have shown the ability to etch silicon at the micron scale using the near infrared nanosecond laser. The possible use of optical fibers is clearly a decisive condition for the realization of a laser capable of etching process real intricate designs and repeatedly. ; Ce travail de thèse a permis de montrer que la résolution latérale de gravure de lasers proches infrarouges nanosecondes pouvait être réduite en faisant passer le faisceau à travers des microbilles de verre ou des fibres de silice à embouts façonnés de telle manière à générer des jets photoniques. Sur du silicium la taille de gravure peut être réduite d’un facteur 44 comparée à celle d’une gravure directe sans jet photonique. Les densités de puissances atteintes permettent même d’envisager de graver le verre avec ce type de laser malgré sa très faible absorption à ces longueurs d’onde. Pour la première fois nous avons montré la possibilité d’obtenir des jets photoniques en sortie de fibre optique à embout façonné. Nous avons montré leur capacité à graver le silicium à l’échelle du micron et ce avec un laser proche infrarouge nanoseconde. La possible utilisation de fibres optiques est une condition clairement décisive à la réalisation d’un réel procédé laser capable de graver des motifs complexes et de façon répétée. |
| نوع الوثيقة: | doctoral or postdoctoral thesis |
| اللغة: | English |
| Relation: | NNT: 2015STRAD028; tel-01330747; https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747; https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747/document; https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747/file/Abdurrochman_Andri_2015_ED269.pdf |
| الاتاحة: | https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747/document https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01330747/file/Abdurrochman_Andri_2015_ED269.pdf |
| Rights: | info:eu-repo/semantics/OpenAccess |
| رقم الانضمام: | edsbas.31C390F9 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |