Academic Journal
Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres
| العنوان: | Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres |
|---|---|
| المؤلفون: | Kolari, K, Vehmas, T, Svensk, O, Törmä, P, Aalto, T |
| المصدر: | Physica Scripta ; volume T141, page 014017 ; ISSN 0031-8949 1402-4896 |
| بيانات النشر: | IOP Publishing |
| سنة النشر: | 2010 |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| اللغة: | unknown |
| DOI: | 10.1088/0031-8949/2010/t141/014017 |
| الاتاحة: | http://dx.doi.org/10.1088/0031-8949/2010/t141/014017 http://stacks.iop.org/1402-4896/2010/i=T141/a=014017/pdf |
| رقم الانضمام: | edsbas.28C2B463 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1088/0031-8949/2010/t141/014017 |
|---|