Academic Journal
Temperature Dependence of Sensitivity of Silicon Integrated Mechanical Transducer in The Temperature Range from -60°C to +200°C ; Dépendance de la sensibilité d'un capteur mécanique intégré au silicium en fonction de la température dans une plage de températures allant de -60°C à +200°C
| العنوان: | Temperature Dependence of Sensitivity of Silicon Integrated Mechanical Transducer in The Temperature Range from -60°C to +200°C ; Dépendance de la sensibilité d'un capteur mécanique intégré au silicium en fonction de la température dans une plage de températures allant de -60°C à +200°C |
|---|---|
| المؤلفون: | Tikhomirov, M. Yu., Spalek, Yu. M., Borshchev, V. N. |
| المساهمون: | Kharkiv National University of Radio Electronics, Bauman Moscow State Technical University, Research Technological Instrumentation Institute State Enterprise |
| المصدر: | Technology. Technology of Instrument Making: Scientific and Technical Collection ; https://hal.science/hal-04163200 ; Technology. Technology of Instrument Making: Scientific and Technical Collection, 1988, 13 (2), pp.80-100. ⟨10.13140/RG.2.2.35275.67362/3⟩ |
| بيانات النشر: | HAL CCSD TsNTI "Poisk" |
| سنة النشر: | 1988 |
| المجموعة: | Archive ouverte HAL (Hyper Article en Ligne, CCSD - Centre pour la Communication Scientifique Directe) |
| مصطلحات موضوعية: | [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.MECA.GEME]Engineering Sciences [physics]/Mechanics [physics.med-ph]/Mechanical engineering [physics.class-ph] |
| الوصف: | This article presents an investigation of the temperature dependence in integrated silicon resistive transducers (IRTs) used in mechanical sensors. IRTs employ a DC bridge measurement circuit with four piezoresistors to convert strain in an elastic element. The circuit transfer function determines the conversion characteristic, which is dependent on both temperature and strain. Two requirements are discussed in the manufacturing and design of IRTs to achieve a null normalized output ($K_0(T) = 0$). The article explores the impact of various factors, such as contact dimensions, resistivity, and impurity concentration distribution, on the temperature instability coefficient and the strain sensitivity coefficients. Experimental results and theoretical calculations are provided to illustrate the temperature dependence of the transducer gauge factor and the resistance. The findings contribute to a better understanding of the temperature behavior of IRTs, which is essential for designing accurate and reliable mechanical sensors. ; Cet article présente une étude de la dépendance de la température dans les transducteurs résistifs intégrés au silicium (IRT) utilisés dans les capteurs mécaniques. Les IRT utilisent un circuit de mesure en pont à courant continu avec quatre piézorésistances pour convertir la déformation d'un élément élastique. La fonction de transfert du circuit détermine la caractéristique de conversion, qui dépend à la fois de la température et de la déformation. Deux exigences sont discutées dans la fabrication et la conception des IRT pour obtenir une sortie normalisée nulle ($K_0(T) = 0$). L'article explore l'impact de divers facteurs, tels que les dimensions du contact, la résistivité et la distribution de la concentration d'impuretés, sur le coefficient d'instabilité de la température et les coefficients de sensibilité à la déformation. Des résultats expérimentaux et des calculs théoriques sont fournis pour illustrer la dépendance à la température du facteur de jauge du transducteur et de la ... |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| اللغة: | English |
| Relation: | hal-04163200; https://hal.science/hal-04163200; https://hal.science/hal-04163200/document; https://hal.science/hal-04163200/file/Temperature_Range%20from%20_60_200.pdf |
| DOI: | 10.13140/RG.2.2.35275.67362/3 |
| الاتاحة: | https://hal.science/hal-04163200 https://hal.science/hal-04163200/document https://hal.science/hal-04163200/file/Temperature_Range%20from%20_60_200.pdf https://doi.org/10.13140/RG.2.2.35275.67362/3 |
| Rights: | http://creativecommons.org/licenses/by/ ; info:eu-repo/semantics/OpenAccess |
| رقم الانضمام: | edsbas.23EE46B7 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.13140/RG.2.2.35275.67362/3 |
|---|