用于制造半导体芯片的方法和半导体芯片

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: 用于制造半导体芯片的方法和半导体芯片
المؤلفون: 克里斯托夫·艾希勒, 安德烈·佐默斯, 哈拉尔德·柯尼希, 贝恩哈德·施托耶茨, 安德烈亚斯·莱夫勒, 艾尔弗雷德·莱尔
المساهمون: 欧司朗光电半导体有限公司
سنة النشر: 2017
المجموعة: Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics: OPT OpenIR (Chinese Academy of Sciences, CAS) / 中国科学院西安光学精密机械研究所机构知识库
مصطلحات موضوعية: H01S5/22 | H01S5/30
جغرافية الموضوع: 中国
الوصف: 提出一种用于制造半导体芯片(100)的方法,其中在用于生长第一半导体层(1)的生长工艺期间,沿着生长的第一半导体层(1)的至少一个延伸方向产生不均匀的横向温度分布,使得建立第一半导体层(1)的材料组成的横向变化。此外,提出一种半导体芯片(100)。
نوع الوثيقة: other/unknown material
اللغة: unknown
Relation: http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89951
الاتاحة: http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89951
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رقم الانضمام: edsbas.146475EB
قاعدة البيانات: BASE