التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Nanoscale patterning at the Si/SiO |
| المؤلفون: |
Artur, Böttcher, Ruth, Schwaiger, Tobias M, Pazdera, Daniela, Exner, Jakob, Hauns, Dmitry, Strelnikov, Sergei, Lebedkin, Roland, Gröger, Friedrich, Esch, Barbara A J, Lechner, Manfred M, Kappes |
| المصدر: |
Nanotechnology. 31(50) |
| سنة النشر: |
2020 |
| الوصف: |
We have studied the capability of He |
| تدمد: |
1361-6528 |
| URL الوصول: |
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::a2d59d4a86aef67ec1a122bb3b33e1df
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33021238 |
| رقم الانضمام: |
edsair.pmid..........a2d59d4a86aef67ec1a122bb3b33e1df |
| قاعدة البيانات: |
OpenAIRE |