Приведены результаты исследования нанодисперсного диоксида титана и композиционного наноразмерного порошка x•TiO2+y•SiO2. Порошки синтезированы в неравновесном плазмохимическом процессе, который инициируется импульсным электронным пучком. Исходная смесь содержит кислород, водород и газофазный тетрахлорид титана (или смесь тетрахлорида титана и тетрахлорида кремния). Исследовано влияние режима синтеза на распределение частиц по размеру и величину среднечислового размера порошка. Выполнен рентгенофазовый и рентгенофлуоренсцентный анализ порошков. Показано, что процесс синтеза носит объемный характер. Произведен расчет затрат энергии электрофизической установки на синтез нанопорошка.