Time and spatial distribution of plasma emission in diamond-like carbon (DLC) films formed using bipolar HiPIMS discharge
| العنوان: | Time and spatial distribution of plasma emission in diamond-like carbon (DLC) films formed using bipolar HiPIMS discharge |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiroyuki, Fukue, Yuga, Koyama, Tadayuki, Okano, Masahide, Kuroiwa, Ken, Yonezawa, Tatsuyuki, Nakatani |
| المساهمون: | 岡山理科大学大学院工学研究科博士課程システム科学専攻, 岡山理科大学工学部電気電子システム学科（現:三井E＆Sシステム技研株式会社）, 東京電子株式会社, ケニックス株式会社, 岡山理科大学フロンティア理工学研究所, Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science, Faculty of Engineering, Okayama University of Science, Tokyo Electronics Co., Ltd., Kenix Corporation, Institute of Frontier Science and Technology, Okayama University of Science |
| المصدر: | 岡山理科大学紀要. A, 自然科学. 56:67-74 |
| سنة النشر: | 2020 |
| اللغة: | Japanese |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::ac4441f8b4c654fe1f437365267479a5 http://id.nii.ac.jp/1182/00002459/ |
| Rights: | OPEN |
| رقم الانضمام: | edsair.jairo.........ac4441f8b4c654fe1f437365267479a5 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |