Characterization of nanostructure in low dose Fe-implanted p-type 6H-SiC using atom probe tomography
| العنوان: | Characterization of nanostructure in low dose Fe-implanted p-type 6H-SiC using atom probe tomography |
|---|---|
| المؤلفون: | Jean Juraszek, A. Fnidiki, Michel Viret, Lindor Diallo, Alain Declémy, L. Lechevallier |
| المساهمون: | Groupe de physique des matériaux (GPM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU), Service de physique de l'état condensé (SPEC - UMR3680), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut Pprime (PPRIME), Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Physique des Défauts et de la Plasticité PDP (PDP), Département Physique et Mécanique des Matériaux (Département Physique et Mécanique des Matériaux), Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Pprime (PPRIME), Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| المصدر: | Journal of Magnetism and Magnetic Materials Journal of Magnetism and Magnetic Materials, Elsevier, 2019, 481, pp.189-193. ⟨10.1016/j.jmmm.2019.03.013⟩ Journal of Magnetism and Magnetic Materials, 2019, 481, pp.189-193. ⟨10.1016/j.jmmm.2019.03.013⟩ |
| بيانات النشر: | Elsevier BV, 2019. |
| سنة النشر: | 2019 |
| مصطلحات موضوعية: | Materials science, Nanostructure, Annealing (metallurgy), Low dose, Analytical chemistry, Nanoclusters, 02 engineering and technology, Atom probe, Magnetic semiconductor, Spin electronics, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, Microstructure, 01 natural sciences, Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, Atom probe tomography, law, 0103 physical sciences, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Diluted magnetic semiconductor, Rapid thermal annealing, 010306 general physics, 0210 nano-technology |
| الوصف: | International audience; P-doped 6H-SiC substrates were implanted with Fe ions. During implantation the samples were maintained at 550 °C with energies ranging from 30 to 160 keV in order to produce a diluted magnetic semiconductor (DMS) with a 2% Fe homogeneous concentration to a depth of about 100 nm thickness. The effects of rapid thermal annealing on the microstructure were examined by atom probe tomography (APT). The study shows evidence of the formation of Fe rich nanoclusters after annealing which contain core magnetic phases that contribute to the magnetic properties. |
| تدمد: | 0304-8853 |
| DOI: | 10.1016/j.jmmm.2019.03.013 |
| DOI: | 10.1016/j.jmmm.2019.03.013⟩ |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::7bac4f11581211a4c2cae903c84c8308 https://doi.org/10.1016/j.jmmm.2019.03.013 |
| Rights: | OPEN |
| رقم الانضمام: | edsair.doi.dedup.....7bac4f11581211a4c2cae903c84c8308 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| تدمد: | 03048853 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.jmmm.2019.03.013 |