Piezoelectric Mems for Microparticles Detection

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Piezoelectric Mems for Microparticles Detection
المؤلفون: Francesco Foncellino, Luigi Barretta, Ettore Massera, Alberto Corigliano
بيانات النشر: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2021.
سنة النشر: 2021
مصطلحات موضوعية: MEMS resonator, gravimeter, piezoelectric material, mass sensor, particle sensor, Particulate matter, microbalance
اللغة: English
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::20138335deaa55ead62fab7e2a8a1301
http://hdl.handle.net/11311/1207164
Rights: CLOSED
رقم الانضمام: edsair.doi.dedup.....20138335deaa55ead62fab7e2a8a1301
قاعدة البيانات: OpenAIRE