APCVD of aluminium oxyde

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: APCVD of aluminium oxyde
المؤلفون: Kruise, J., van Vossen, H., Eijkel, C.J.M.
المصدر: MESA Dag 1994
Dutch Conference on Sensor Technology 1994
سنة النشر: 1994
اللغة: English
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::a03a84d2c06295739009797691a13c6d
https://research.utwente.nl/en/publications/apcvd-of-aluminium-oxyde(a68f7811-8287-4cb1-a203-d38a6b4e6ad8).html
Rights: RESTRICTED
رقم الانضمام: edsair.dedup.wf.001..a03a84d2c06295739009797691a13c6d
قاعدة البيانات: OpenAIRE