APCVD of aluminium oxyde
العنوان: | APCVD of aluminium oxyde |
---|---|
المؤلفون: | Kruise, J., van Vossen, H., Eijkel, C.J.M. |
المصدر: | MESA Dag 1994 Dutch Conference on Sensor Technology 1994 |
سنة النشر: | 1994 |
اللغة: | English |
URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::a03a84d2c06295739009797691a13c6d https://research.utwente.nl/en/publications/apcvd-of-aluminium-oxyde(a68f7811-8287-4cb1-a203-d38a6b4e6ad8).html |
Rights: | RESTRICTED |
رقم الانضمام: | edsair.dedup.wf.001..a03a84d2c06295739009797691a13c6d |
قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
الوصف غير متاح. |