New architecture of MEMS microphone for enhanced performances.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: New architecture of MEMS microphone for enhanced performances.
المؤلفون: Czarny, J., Walther, A., Desloges, B., Robert, Ph., Redon, E., Verdot, T., Ege, K., Guianvarc'h, C., Guyader, J. L.
المصدر: 2013 International Semiconductor Conference Dresden - Grenoble (ISCDG); 2013, p1-4, 4p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
ردمك:9781479912513
DOI:10.1109/ISCDG.2013.6656312