المؤلفون: Yabumoto, Seiichi, Arai, Tetsuyuki, Fujimori, Yoshihiko, Azuma, Toru

المساهمون: Stover, Harry L.

المصدر: SPIE Proceedings ; Optical Microlithography V ; ISSN 0277-786X

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.963713
http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?doi=10.1117/12.963713

المؤلفون: Umegaki, Shinsuke, Yabumoto, Seiichi, Tanaka, Shun-ichi

المصدر: Applied Physics Letters ; volume 21, issue 8, page 400-402 ; ISSN 0003-6951 1077-3118

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.1654430
https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/21/8/400/18426888/400_1_online.pdf