المؤلفون: Levi, S., Tiec, R. Le, Dupre, C., Vannuffel, C., Dewolf, T., Garcia, S., Millard, K., Meynard, B., Lee, Y., Colard, M., Dujaili, H. Al, Faugier-Tovar, J., Mizuno, Shinsuke

المساهمون: PDC business group, Applied Materials, University Grenoble Alpes, CEA, LETI, Minatec Campus, 17 avenue des martyrs, 38000 Grenoble, France (LETI), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Institut de Recherche en Informatique Mathématiques Automatique Signal - IRIMAS - UR 7499 (IRIMAS), Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA)), AMJ - Applied materials Japan

المصدر: ISSM 2022 - International Symposium on Semiconductor Manufacturing ; https://hal.science/hal-04785757 ; ISSM 2022 - International Symposium on Semiconductor Manufacturing, Dec 2022, Tokyo, Japan. pp.1-4, ⟨10.1109/ISSM55802.2022.10027161⟩ ; https://ieeexplore.ieee.org/document/10027161

مصطلحات موضوعية: [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic

جغرافية الموضوع: Tokyo, Japan

الاتاحة: https://hal.science/hal-04785757
https://doi.org/10.1109/ISSM55802.2022.10027161

المؤلفون: Le Royer, C., Mohamad, B., Biscarrat, J., Vauche, L., Escoffier, R., Buckley, J., Becu, S., Riat, R., Gillot, C., Charles, M., Ruel, S., Pimenta-Barros, P., Posseme, N., Besson, P., Boudaa, F., Vannuffel, C., Vandendaele, W., Viey, A.G., Krakovinsky, A., Jaud, M.-A., Modica, R., Iucolano, F., Tiec, R. Le, Levi, S., Orsatelli, M., Gwoziecki, R., Sousa, V.

المصدر: 2022 IEEE 34th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD)

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1109/ispsd49238.2022.9813672
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9813543/9813532/09813672.pdf?arnumber=9813672

المؤلفون: Grenouillet, L., Bru-Chevallier, C., Guillot, G., Gilet, P., Duvaut, P., Vannuffel, C., Million, A., Chenevas-Paule, A.

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), INL - Spectroscopies et Nanomatériaux (INL - S&N), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Département d'Optronique (DOPT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Equipes Traitement de l'Information et Systèmes (ETIS - UMR 8051), Ecole Nationale Supérieure de l'Electronique et de ses Applications (ENSEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-CY Cergy Paris Université (CY)

المصدر: ISSN: 0003-6951.

مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics], [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic

Relation: hal-01928830; https://hal.science/hal-01928830; https://hal.science/hal-01928830/document; https://hal.science/hal-01928830/file/L%20Grenouillet%20Evidence%20of%20strong%20carrier%20localization%20below%20100%20K%20in%20a%20GaInNAsGaAs%20single%20quantum1.pdf

الاتاحة: https://hal.science/hal-01928830
https://hal.science/hal-01928830/document
https://hal.science/hal-01928830/file/L%20Grenouillet%20Evidence%20of%20strong%20carrier%20localization%20below%20100%20K%20in%20a%20GaInNAsGaAs%20single%20quantum1.pdf
https://doi.org/10.1063/1.126308

المؤلفون: Figueiro, T., Browning, C., Thornton, M.J., Vannuffel, C., Hoon Choi, K., Hohle, C., Tortai, J.-H., Schiavone, P.

Time: 621

Relation: European Mask and Lithography Conference (EMLC) 2013; 29th European Mask and Lithography Conference. Proceedings; https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/383206

الاتاحة: https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/383206
https://doi.org/10.1117/12.2030664

المؤلفون: Jouve, A., Simon, J., Pikon, A., Solak, H., Vannuffel, C., Tortai, J.-H.

المساهمون: Lin, Qinghuang

المصدر: SPIE Proceedings ; Advances in Resist Technology and Processing XXIII ; ISSN 0277-786X

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.656400

المؤلفون: Farys, V., Schiavone, P., Polack, F., Vannuffel, C., Quesnel, E., Bertolo, M.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: 2nd International EUV lithography Symposium
https://hal.science/hal-00486449
2nd International EUV lithography Symposium, 2003, Antwerp, Belgium

جغرافية الموضوع: Antwerp, Belgium

الاتاحة: https://hal.science/hal-00486449

المؤلفون: Farys, V., Vannuffel, C., Quesnel, E., Muffato, V., Besson, P., Idir, M., Bertolo, M., Bianco, A., La Rosa, S., Polack, F.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: 7th International Conference on X-Ray Microscopy, XRM
https://hal.science/hal-00486213
7th International Conference on X-Ray Microscopy, XRM, 2002, grenoble, France

جغرافية الموضوع: grenoble, France

Relation: hal-00486213; https://hal.science/hal-00486213

الاتاحة: https://hal.science/hal-00486213

المؤلفون: Hue, J., Quesnel, E., Schiavone, P., Muffato, V., Vannuffel, C., Robic, J.y

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: 3rd International Workshop on EUV Lithography
https://hal.science/hal-00486163
3rd International Workshop on EUV Lithography, 2001, Matsue, Japan

جغرافية الموضوع: Matsue, Japan

الاتاحة: https://hal.science/hal-00486163

المؤلفون: Ferrieu, F., Novikova, T., Fallet, C., Ben Hatit, S., Vannuffel, C., De Martino, A.

المساهمون: French National Agency for Research

المصدر: Thin Solid Films ; volume 519, issue 9, page 2608-2612 ; ISSN 0040-6090

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.062
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0040609010016925?httpAccept=text/xml
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0040609010016925?httpAccept=text/plain

المؤلفون: Farys, V., Schiavone, P., Polack, F., Idir, M., Bertolo, M., Bianco, A., La Rosa, S., Cautero, G., Vannuffel, C., Quesnel, E., Muffato, V.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: ISSN: 0003-6951.

Relation: hal-00394485; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00394485

الاتاحة: https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00394485

المؤلفون: Farys, V., Schiavone, P., Polack, F., Idir, M., Bertolo, M., Bianco, A., La Rosa, S., Cautero, G., Vannuffel, C., Quesnel, E., Muffato, V.

المصدر: Applied Physics Letters ; volume 87, issue 2 ; ISSN 0003-6951 1077-3118

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.1984097
https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.1984097/14643195/024102_1_online.pdf

المؤلفون: Borsoni, G, Le Roux, V, Laffitte, R, Kerdilès, S, Béchu, N, Vallier, L, Korwin-Pawlowski, M.L, Vannuffel, C, Bertin, F, Vergnaud, C, Chabli, A, Wyon, C

المصدر: Solid-State Electronics ; volume 46, issue 11, page 1855-1862 ; ISSN 0038-1101

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1016/s0038-1101(02)00245-9
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0038110102002459?httpAccept=text/xml
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0038110102002459?httpAccept=text/plain

المؤلفون: Ermolieff, A., Chabli, A., Pierre, F., Rolland, G., Rouchon, D., Vannuffel, C., Vergnaud, C., Baylet, J., Séméria, M. N.

المصدر: Surface and Interface Analysis ; volume 31, issue 3, page 185-190 ; ISSN 0142-2421 1096-9918

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1002/sia.955
https://api.wiley.com/onlinelibrary/tdm/v1/articles/10.1002%2Fsia.955
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/sia.955

المؤلفون: Gilet, P., Chenevas-Paule, A., Duvaut, P., Grenouillet, L., Holliger, P., Million, A., Rolland, G., Vannuffel, C.

المصدر: physica status solidi (a) ; volume 176, issue 1, page 279-283 ; ISSN 0031-8965 1521-396X

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1002/(sici)1521-396x(199911)176:1%3C279::aid-pssa279%3E3.0.co%3B2-z
https://api.wiley.com/onlinelibrary/tdm/v1/articles/10.1002%2F(SICI)1521-396X(199911)176:1%3C279::AID-PSSA279%3E3.0.CO%3B2-Z
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/(SICI)1521-396X(199911)176:1%3C279::AID-PSSA279%3E3.0.CO%3B2-Z

المؤلفون: Méchin, L., Chabli, A., Bertin, F., Burdin, M., Rolland, G., Vannuffel, C., Villégier, J.-C.

المصدر: Journal of Applied Physics ; volume 84, issue 9, page 4935-4940 ; ISSN 0021-8979 1089-7550

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.368738
https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/84/9/4935/19221407/4935_1_online.pdf

المؤلفون: Zanatta, J. P., Duvaut, P., Ferret, P., Million, A., Destefanis, G., Rambaud, P., Vannuffel, C.

المصدر: Applied Physics Letters ; volume 71, issue 20, page 2984-2986 ; ISSN 0003-6951 1077-3118

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.120237
https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/71/20/2984/18530580/2984_1_online.pdf

المؤلفون: Pescher, C., Pierre, J., Ermolieff, A., Vannuffel, C.

المصدر: Thin Solid Films ; volume 278, issue 1-2, page 140-143 ; ISSN 0040-6090

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1016/0040-6090(95)08149-6
https://api.elsevier.com/content/article/PII:0040609095081496?httpAccept=text/plain
https://api.elsevier.com/content/article/PII:0040609095081496?httpAccept=text/xml

المؤلفون: Pescher, C., Pierre, J., Ermolieff, A., Vannuffel, C.

المصدر: MRS Proceedings ; volume 384 ; ISSN 0272-9172 1946-4274

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1557/proc-384-283
https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/content/view/S1946427400323430

المؤلفون: Vannuffel, C., Schiller, C., Chevalier, J. P.

المصدر: Proceedings, annual meeting, Electron Microscopy Society of America ; volume 48, issue 4, page 592-593 ; ISSN 0424-8201 2690-1315

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1017/s0424820100176095
https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/content/view/S0424820100176095

المؤلفون: Loup, V., Hartmann, J. M., Rolland, G., Holliger, P., Laugier, F., Vannuffel, C., Séméria, M. N.

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2002, Vol. 20 Issue 3, p1048-1054, 7p