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  4. 4
    Academic Journal

    المساهمون: Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille (CINaM), Aix Marseille Université (AMU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg = University of Erlangen-Nuremberg (FAU), SUNY Polytechnic Institute (SUNY POLY), State University of New York (SUNY), GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN), Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Annealsys (Annealsys), Institut Européen des membranes (IEM), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM), Université de Montpellier (UM), ANR-17-CE09-0049,MeNiNA,Conception de membranes à base de clusters métalliques insérés dans des nanocouches de nitrures et efficaces pour la séparation de gaz(2017)

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.science/hal-04016648 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), pp.032401. ⟨10.1116/6.0002288⟩.

  5. 5
    Academic Journal

    المساهمون: Tokyo Electron Limited, New York State CATN2 program, TEL plasma scientist innovation grant

    المصدر: IEEE Transactions on Materials for Electron Devices ; volume 1, page 49-63 ; ISSN 2993-1576

  6. 6
    Conference

    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Materials Science, Technische Universität Darmstadt, Technische Universität Darmstadt - Technical University of Darmstadt (TU Darmstadt), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Helmholtz Centre for Heavy Ion Research (GSI), European Project: 783176,WAKeMeUp

    المصدر: RADECS 2020 ; https://cea.hal.science/cea-03086407 ; RADECS 2020, Oct 2020, Virtual Conference, France

    جغرافية الموضوع: Virtual Conference, France

    Time: Virtual Conference, France

    Relation: info:eu-repo/grantAgreement//783176/EU/H2020-EU.2.1.1.7. - Wafers for Automotive and other Key applications using Memories, embedded in Ulsi Processors/WAKeMeUp

  7. 7
    Academic Journal

    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), European Project: 783176,WAKeMeUp

    المصدر: ISSN: 0018-9383 ; IEEE Transactions on Electron Devices ; https://cea.hal.science/cea-03119677 ; IEEE Transactions on Electron Devices, 2021, 68 (2), pp.535-540. ⟨10.1109/TED.2020.3044267⟩.

    Relation: info:eu-repo/grantAgreement//783176/EU/H2020-EU.2.1.1.7. - Wafers for Automotive and other Key applications using Memories, embedded in Ulsi Processors/WAKeMeUp

  8. 8
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, SUNY Polytechnic Institute (SUNY POLY), State University of New York (SUNY), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (3), pp.032416. ⟨10.1116/6.0000649⟩.

    مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

  9. 9
    Academic Journal

    المساهمون: Novel Advanced Nano-Objects (LCMCP-NANO), Matériaux Hybrides et Nanomatériaux (LCMCP-MHN), Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (LCMCP), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (LCMCP), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), IFP Energies nouvelles (IFPEN), Institut de Recherche de Chimie Paris (IRCP), Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris Sciences et Lettres (PSL)-Université Paris Sciences et Lettres (PSL)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ministère de la Culture (MC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

    المصدر: ISSN: 1932-7447.

  10. 10
    Academic Journal

    المصدر: IEEE transactions on nuclear science 68(8), 1542 - 1547 (2021). doi:10.1109/TNS.2021.3085962

    مصطلحات موضوعية: info:eu-repo/classification/ddc/620

    جغرافية الموضوع: DE

    Relation: info:eu-repo/semantics/altIdentifier/issn/0018-9499; info:eu-repo/semantics/altIdentifier/wos/WOS:000687247300004; info:eu-repo/semantics/altIdentifier/issn/1558-1578; https://repository.gsi.de/record/239045; https://repository.gsi.de/search?p=id:%22GSI-2021-00974%22

  11. 11
    Conference

    المساهمون: Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), ANR-16-CE05-0021,DESPATCH,Développement de la méthode à séparation spatiale de dépôt par couches atomiques assistée plasma pour des applications photovoltaïques(2016), European Project: 801464,SPRINT

    المصدر: AVS 19th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD/ALE 2019) ; https://hal.science/hal-04762124 ; AVS 19th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD/ALE 2019), Jul 2019, Bellevue, United States

    جغرافية الموضوع: Bellevue, United States

    Relation: info:eu-repo/grantAgreement//801464/EU/Ultra-versatile Structural PRINTing of amorphous and tuned crystalline matter on multiple substrates/SPRINT

  12. 12
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Phenikaa University, Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), European Synchrotron Radiation Facility (ESRF), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-16-CE05-0021,DESPATCH,Développement de la méthode à séparation spatiale de dépôt par couches atomiques assistée plasma pour des applications photovoltaïques(2016), ANR-17-CE05-0034,OXYGENE,OXYdes fonctionnalisés pour jonctions ultra-minces et contacts tunnel : vers une nouvelle GENEration de cellules photovoltaïques en silicium cristallin(2017)

    المصدر: ISSN: 0897-4756.

    مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

  13. 13
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, University of Manchester Manchester, Photon Science Institute Manchester (PSI), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.science/hal-02586207 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2020, 38 (3), pp.033007. ⟨10.1116/1.5140841⟩.

  14. 14
    Academic Journal

    المساهمون: Université de Tsukuba = University of Tsukuba, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Nanophysique et Semiconducteurs (NPSC), PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS), Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Centre Technique des Applications du Soudage (CTAS), Air Liquide Siège Social, Air Liquide Laboratories, Semi-conducteurs à large bande interdite (NEEL - SC2G), Institut Néel (NEEL), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), Université Grenoble Alpes (UGA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), Université Grenoble Alpes (UGA), Nanophysique et Semiconducteurs (NEEL - NPSC), ANR-10-LABX-0051,LANEF,Laboratory of Alliances on Nanosciences - Energy for the Future(2010)

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917577 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2020, 38 (3), pp.032602. ⟨10.1116/1.5134130⟩.

  15. 15
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

    المصدر: ISSN: 0003-6951.

    مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

  16. 16
    Academic Journal

    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), European Project: 783176,WAKeMeUp, European Project: 621217,EC:FP7:SP1-JTI,ENIAC-2013-2,PANACHE(2014)

    المصدر: EISSN: 2199-160X ; Advanced Electronic Materials ; https://cea.hal.science/cea-02885888 ; Advanced Electronic Materials, 2019, 5 (2), pp.1800658. ⟨10.1002/aelm.201800658⟩

    Relation: info:eu-repo/grantAgreement//783176/EU/H2020-EU.2.1.1.7. - Wafers for Automotive and other Key applications using Memories, embedded in Ulsi Processors/WAKeMeUp; info:eu-repo/grantAgreement/EC/FP7/621217/EU/PANACHE/PANACHE

  17. 17
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02108939 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2019, 37 (2), pp.020918. ⟨10.1116/1.5049361⟩.

  18. 18
    Academic Journal

    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Laboratoire national des champs magnétiques intenses - Grenoble (LNCMI-G ), Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Liège, P N acknowledges the PCRAM team in LETI. This work has been supported in part by ST-LETI bilateral program A, European 621217-PANACHE project, and LabEx Minos ANR-10-LABX-55-01. P N and J-Y R acknowledge support from the ANR SESAME contract (ANR-15-CE24-0021). J-Y R acknowledges computational resources provided by the CÉCI funded by the F R S-FNRS under Grant No. 2.5020.11 and the Tier-1 supercomputer of the Fédération Wallonie-Bruxelles, infrastructure funded by the Walloon Region under the grant agreement No. 1117545., ANR-15-CE24-0021,SESAME,Etude de l'influence de la taille et des contraintes sur la cristallisation des matériaux chalcogénures pour le développement de mémoires à changement de phase à haute densité(2015), European Project: 621217,EC:FP7:SP1-JTI,ENIAC-2013-2,PANACHE(2014)

    المصدر: ISSN: 0268-1242.

    مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

    Relation: info:eu-repo/grantAgreement/EC/FP7/621217/EU/PANACHE/PANACHE; hal-01954870; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954870

  19. 19
    Academic Journal

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), This work was supported by the European project PANACHE and by the French Government program “Investissements d’Avenir” managed by the National Research Agency (ANR) under the Contract No. ANR-10-IQPX-33., European Project: 621217,EC:FP7:SP1-JTI,ENIAC-2013-2,PANACHE(2014)

    المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01891189 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2017, 35 (1), pp.01B104. ⟨10.1116/1.4965966⟩.

  20. 20
    Academic Journal