المؤلفون: Daniel Bouchier, Véronique Mathet, Davide Cammilleri, Dominique Débarre, Jacques Boulmer, Mathieu Halbwax, Frédéric Fossard, Huu Lam Nguyen, Vy Yam

المصدر: ECS Transactions. 3:593-598

مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Optoelectronics, business, Epitaxy

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b8b2bc3b252f995c4a3a0376745039b8
https://doi.org/10.1149/1.2355856

المؤلفون: Vy Yam, Mathieu Halbwax, Frédéric Fossard, Véronique Mathet, X. Le Roux, Daniel Bouchier, Dao Tran Cao, Lam H. Nguyen

المصدر: Materials Science in Semiconductor Processing. 9:460-464

مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Mechanical Engineering, chemistry.chemical_element, Mineralogy, Germanium, Chemical vapor deposition, Condensed Matter Physics, Epitaxy, Isotropic etching, chemistry, Vacuum deposition, Mechanics of Materials, Trench, Optoelectronics, General Materials Science, Wafer, Diffusion (business), business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::33c221a2029fe7e55bbfe24dc93ac0c6
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2006.08.040

المؤلفون: Frédéric Fossard, Jacques Boulmer, Franck Fortuna, Daniel Bouchier, Cyril Bachelet, Jean-Luc Perrossier, Véronique Mathet, Dominique Débarre

المساهمون: Institut d'électronique fondamentale (IEF), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), CSNSM SEMI, Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse (CSNSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11), CSNSM PS2, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre de Sciences Nucléaires et de Sciences de la Matière (CSNSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)

المصدر: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2008, 93, pp.021911. ⟨10.1063/1.2956674⟩

مصطلحات موضوعية: Diffraction, Materials science, Physics and Astronomy (miscellaneous), Silicon, FABRICATION, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, SHALLOW JUNCTION FORMATION, GILD, Adsorption, 0103 physical sciences, HETEROSTRUCTURES, INDUCED EPITAXY, SILICON, 010302 applied physics, Doping, 021001 nanoscience & nanotechnology, Rutherford backscattering spectrometry, Gas immersion laser doping, chemistry, X-ray crystallography, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], 0210 nano-technology, Layer (electronics)

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::9eee36ad3b96bad87f3260d7174e0ba7
https://doi.org/10.1063/1.2956674

المؤلفون: Frédéric Fossard, Mathieu HALBWAX, Vy YAM, Huu Lam Nguyen, Véronique Mathet, Davide Cammilleri, Dominique Débarre, Jacques Boulmer, Daniel BOUCHIER

المصدر: ECS Meeting Abstracts. :1463-1463

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bf83fd3fb39297c904ec5c2b2a35f021
https://doi.org/10.1149/ma2006-02/31/1463