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    المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon], ONERA-Université Paris-Saclay, Fluiditech (Thurmelec), JMH Conception F- 68100 Mulhouse, France, Laboratoire Chrono-environnement (UMR 6249) (LCE), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille – Kampé de Fériet - UMR 9014 (LMFL), Centrale Lille-ONERA-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), ONERA / DTIS, Université de Toulouse [Toulouse], ONERA-PRES Université de Toulouse, ONERA - The French Aerospace Lab [Meudon], ONERA-Université Paris Saclay (COmUE), DAAA, ONERA [Lille], ONERA, Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), This work was funded by the French National Research Agency (ANR) in the framework of the ANR ASTRID MATURATION‘‘CAMELOTT-MATVAL’’ Project. It is supported by the regional platform CONTRAERO, France, the CPER ELSAT 2020 Project, France andthe CPER RITMEA 2021–2027 Project, France. The Innovation Defence Agency (AID), France has also financially sustained this work. Theauthors also thank RENATECH, the French national nanofabrication network, and FEDER., Renatech Network, CPER ELSAT 2020, ANR-18-ASMA-0008,CAMELOTT-MATVAL,Maturation & Valorisation de Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le cOnTrôle réacTif d'écoulements(2018)

    المصدر: Sensors and Actuators A: Physical
    Sensors and Actuators A: Physical, 2023, 354, pp.114257. ⟨10.1016/j.sna.2023.114257⟩

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    المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Fluiditech (Thurmelec), ISEN Yncréa Ouest, Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille – Kampé de Fériet - UMR 9014 (LMFL), Centrale Lille-ONERA-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon], ONERA-Université Paris-Saclay, This work is funded by the French National Research Agency (ANR) in the framework of the ANR ASTRID 'CAMELOTT' project, grant number ANR-14-ASTR-0023-01. It is supported by the regional platform CONTRAERO in the framework of the CPER ELSAT 2020 project. The authors also thank RENATECH, the French national nanofabrication network, and FEDER., Renatech Network, ANR-14-ASTR-0023,CAMELOTT,Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT(2014), European Project

    المصدر: IEEE Sensors Journal
    IEEE Sensors Journal, 2022, 22 (12), pp.11248-11255. ⟨10.1109/JSEN.2021.3110304⟩

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    Academic Journal
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    Academic Journal
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    المساهمون: DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon], ONERA-Université Paris-Saclay, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), JMH Conception F- 68100 Mulhouse, France, Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille – Kampé de Fériet - UMR 9014 (LMFL), Centrale Lille-ONERA-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), This work was funded by the French National Research Agency (ANR) in the framework of the ANR ASTRID MATURATION 'CAMELOTT-MATVAL' Project. It is supported by the regional platform CONTRAERO in the framework of the CPER ELSAT 2020 Project. The Innovation Defense Agency (AID) has also financially sustained this work. The authors also thank RENATECH, the French national nanofabrication network, and FEDER., Renatech Network, ANR-18-ASMA-0008,CAMELOTT-MATVAL,Maturation & Valorisation de Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le cOnTrôle réacTif d'écoulements(2018), European Project

    المصدر: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2021
    Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2021, Aug 2021, Paris, France. pp.01-03, ⟨10.1109/DTIP54218.2021.9568496⟩

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    المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), DAAA, ONERA [Lille], ONERA, JMH Conception F- 68100 Mulhouse, France, Université de Lille, ONERA, Université de Toulouse [Mauzac], ONERA-PRES Université de Toulouse, Agence Nationale de la Recherche, ANR, This work was funded by the French National ResearchAgency (ANR) in the framework of the ANR ASTRID'CAMELOTT' and the ANR ASTRID MATURATION'CAMELOTT-MATVAL' projects. It is also supported bythe regional platform CONTRAERO in the framework of theCPER ELSAT 2020 Project. The Innovation Defense Agency(AID) has also financially sustained this work. The authorsalso thank RENATECH, the French national nanofabricationnetwork, and FEDER., Renatech Network, ANR-18-ASMA-0008,CAMELOTT-MATVAL,Maturation & Valorisation de Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le cOnTrôle réacTif d'écoulements(2018), ANR-14-ASTR-0023,CAMELOTT,Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT(2014), European Project

    المصدر: 2021 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2021
    2021 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2021, Aug 2021, Paris, France. ⟨10.1109/DTIP54218.2021.9568681⟩

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    المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), The authors would like to thank SERB, India for Extra Mural Research Funding (EMR/2017/003117)., Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Renatech Network

    المصدر: Materials Letters
    Materials Letters, Elsevier, 2021, 285, pp.129058. ⟨10.1016/j.matlet.2020.129058⟩
    Materials Letters, 2021, 285, pp.129058. ⟨10.1016/j.matlet.2020.129058⟩

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    المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), JMH Conception F- 68100 Mulhouse, France, DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon], ONERA-Université Paris-Saclay, ANR ASTRID 'CAMELOTT' Project. It is supported by the regional platform CONTRAERO in the framework of the CPER ELSAT 2020 Project. The authors also thank RENATECH, the French national nanofabrication network, and FEDER., Renatech Network, ANR-14-ASTR-0023,CAMELOTT,Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT(2014), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS-IEMN), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA)

    المصدر: 2020 IEEE SENSORS
    2020 IEEE SENSORS, Oct 2020, Rotterdam, Netherlands. pp.1-3, ⟨10.1109/SENSORS47125.2020.9278842⟩

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