المؤلفون: Boulard, Francois, Bacquie, Valentin, Tavernier, Aurelien, Posseme, Nicolas

المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://cea.hal.science/cea-04170423 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), pp.033002. ⟨10.1116/6.0002434⟩ ; https://pubs.aip.org/avs/jva/article/41/3/033002/2884060/Role-of-SiCl4-addition-in-CH3F-O2-based-chemistry.

مصطلحات موضوعية: [SPI.GPROC]Engineering Sciences [physics]/Chemical and Process Engineering, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas

Relation: cea-04170423; https://cea.hal.science/cea-04170423; https://cea.hal.science/cea-04170423/document; https://cea.hal.science/cea-04170423/file/JVA22-AR-00650.pdf

الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-04170423
https://cea.hal.science/cea-04170423/document
https://cea.hal.science/cea-04170423/file/JVA22-AR-00650.pdf
https://doi.org/10.1116/6.0002434

المؤلفون: Selmouni, Assia, Tavernier, Aurélien, Bérard-Bergery, Sébastien, Posseme, Nicolas

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: MNE2022 Eurosensors - PESM Workshop, Micro and Nano Engineering ; https://cea.hal.science/cea-03773457 ; MNE2022 Eurosensors - PESM Workshop, Micro and Nano Engineering, Sep 2022, Leuven, Belgium

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI]Engineering Sciences [physics], [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials

جغرافية الموضوع: Leuven, Belgium

Relation: cea-03773457; https://cea.hal.science/cea-03773457; https://cea.hal.science/cea-03773457/document; https://cea.hal.science/cea-03773457/file/Abstract_PESM-2022_SELMOUNI.pdf

الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-03773457
https://cea.hal.science/cea-03773457/document
https://cea.hal.science/cea-03773457/file/Abstract_PESM-2022_SELMOUNI.pdf

المؤلفون: Le Royer, Cyrille, Mohamad, Blend, Biscarrat, Jérôme, Vauche, Laura, Escoffier, René, Buckley, Julien, Becu, Stéphane, Riat, Rémi, Gillot, Charlotte, Charles, Matthew, Ruel, Simon, Pimenta-Barros, Patricia, Posseme, Nicolas, Besson, Pascal, Boudaa, Frederic, Vannuffel, Cyril, Vandendaele, William, Viey, Abygaël, Krakovinsky, Alexis, Jaud, Marie-Anne, Modica, R., Iucolano, F., Le Tiec, Rémi, Levi, Shimon, Orsatelli, Marc, Gwoziecki, Romain, Sousa, Véronique

المساهمون: Département Composants Silicium (DCOS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), STMicroelectronics Catania (ST-CATANIA), PDC business group, Applied Materials, CEA Tech Occitanie (DOCC), CEA Tech en régions (CEA-TECH-Reg), ANR-10-AIRT-0005,NANOELEC,NANOELEC(2010)

المصدر: ISPSD 2022 - IEEE 34th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs ; https://cea.hal.science/cea-04577370 ; ISPSD 2022 - IEEE 34th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs, May 2022, Vancouver, Canada. 2022, ⟨10.1109/ISPSD49238.2022.9813672⟩

مصطلحات موضوعية: [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

جغرافية الموضوع: Vancouver

Time: Vancouver, Canada

Relation: cea-04577370; https://cea.hal.science/cea-04577370; https://cea.hal.science/cea-04577370/document; https://cea.hal.science/cea-04577370/file/ISPSD%202022%20Le%20Royer%20v03.pdf

الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-04577370
https://cea.hal.science/cea-04577370/document
https://cea.hal.science/cea-04577370/file/ISPSD%202022%20Le%20Royer%20v03.pdf
https://doi.org/10.1109/ISPSD49238.2022.9813672

المؤلفون: Posseme, Nicolas

مصطلحات موضوعية: [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, intégration, matériaux, permittivité

الاتاحة: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00685803
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/68/58/03/PDF/ThA_se_Nicolas_Posseme_280805.pdf

المؤلفون: Feougier, Raphaël, Aliane, Abdelkader, Sarrazin, Aurélien, Mehrez, Zouhir, Posseme, Nicolas, Tiron, Raluca

المساهمون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo

المصدر: Novel Patterning Technologies 2024

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.3009898

المؤلفون: Ruel, Simon, Pimenta-Barros, Patricia, Pezeril, Maxime, Thoueille, Philippe, Gaucher, François, Posseme, Nicolas

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Jul2024, Vol. 42 Issue 4, p1-7, 7p

مصطلحات موضوعية: GALLIUM nitride, ETCHING, INDUSTRIAL capacity

المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Jaffal, Moustapha, Lefevre, Gauthier, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, SUNY Polytechnic Institute (SUNY POLY), State University of New York (SUNY), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (3), pp.032416. ⟨10.1116/6.0000649⟩.

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060v1/document
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060v1/file/Yeghoyan2021.pdf
https://doi.org/10.1116/6.0000649

المؤلفون: Bacquie, Valentin, Tavernier, Aurelien, Boulard, Francois, Pollet, Olivier, Posseme, Nicolas

المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), ANR-10-EQPX-0033,IMPACT,Caractérisation et Test In-situ des Matériaux, Procédés et des Architectures(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://cea.hal.science/cea-03343549 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39, pp.033005. ⟨10.1116/6.0000871⟩.

مصطلحات موضوعية: [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics, [SPI.GPROC]Engineering Sciences [physics]/Chemical and Process Engineering, [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas

Relation: cea-03343549; https://cea.hal.science/cea-03343549; https://cea.hal.science/cea-03343549/document; https://cea.hal.science/cea-03343549/file/Bacqui%C3%A921_3DSpacerSiN.pdf

الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-03343549
https://cea.hal.science/cea-03343549/document
https://cea.hal.science/cea-03343549/file/Bacqui%C3%A921_3DSpacerSiN.pdf
https://doi.org/10.1116/6.0000871

المؤلفون: Le Roux, Frédéric, Possémé, Nicolas, Burtin, Pauline, Gergaud, Patrice, Delaye, Vincent

المصدر: Microelectronic Engineering ; volume 249, page 111619 ; ISSN 0167-9317

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2021.111619
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0167931721001210?httpAccept=text/xml
https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0167931721001210?httpAccept=text/plain

المؤلفون: Bourguignon, Thibaut, Le Gratiet, Bertrand, Pradelles, Jonathan, Bérard-Bergery, Sébastien, Valade, Charles, Schuch, Nivea G., Possémé, Nicolas

المساهمون: Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J.

المصدر: Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2657914

المؤلفون: Feougier, Raphaël, Argoud, Maxime, Posseme, Nicolas, Tiron, Raluca

المساهمون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo

المصدر: Novel Patterning Technologies 2023

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2654150

المؤلفون: Vallee, Christophe, Bonvalot, Marceline, Belahcen, Samia, Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Vallat, Rémi, Chaker, Ahmad, Lefèvre, Gautier, David, Sylvain, Bsiesy, Ahmad, Posseme, Nicolas, Gassilloud, Rémy, Granier, Agnès

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, University of Manchester Manchester, Photon Science Institute Manchester (PSI), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.science/hal-02586207 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2020, 38 (3), pp.033007. ⟨10.1116/1.5140841⟩.

مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

الاتاحة: https://hal.science/hal-02586207
https://hal.science/hal-02586207v1/document
https://hal.science/hal-02586207v1/file/GRANIER_JVSTA_2020_38_033007.pdf
https://doi.org/10.1116/1.5140841

المؤلفون: Gusmão Cacho, Maria Gabriela, Pimenta-Barros, Patricia, Argoud, Maxime, Navarro, Christophe, Sakavuyi, Kaumba, Tiron, Raluca, Possémé, Nicolas

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Arkema (Arkema)

المصدر: ISSN: 0167-9317.

مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics]

Relation: hal-03490365; https://hal.science/hal-03490365; https://hal.science/hal-03490365/document; https://hal.science/hal-03490365/file/S016793172030157X.pdf; PII: S0167-9317(20)30157-X

الاتاحة: https://hal.science/hal-03490365
https://hal.science/hal-03490365/document
https://hal.science/hal-03490365/file/S016793172030157X.pdf
https://doi.org/10.1016/j.mee.2020.111369

المؤلفون: Chaker, Ahmad, Vallée, Christophe, Pesce, Vincent, Belahcen, Samia, Vallat, Rémi, Gassilloud, Rémy, Possémé, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0003-6951.

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01997456
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01997456v1/document
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01997456v1/file/Chaker2019.pdf
https://doi.org/10.1063/1.5065801

المؤلفون: Bourguignon, Thibaut, Bouyssou, Regis, Pradelles, Jonathan, Bérard-Bergery, Sébastien, Le-Gratiet, Bertrand, Bange, Romain, Schuch, Nivea G., Figueiro, Thiago, Possémé, Nicolas

المساهمون: Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J.

المصدر: Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2613327

المؤلفون: Bourguignon, Thibaut, Le-Gratiet, Bertrand, Pradelles, Jonathan, Bérard-Bergerie, Sébastien, Rademaker, Guido, Possémé, Nicolas

المساهمون: Behringer, Uwe

المصدر: 37th European Mask and Lithography Conference

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2640140

المؤلفون: Sarrazin, Aurélien, Posseme, Nicolas, Pimenta-Barros, Patricia, Barnola, Sebastien, Gharbi, Ahmed, Argoud, Maxime, Tiron, Raluca, Cardinaud, Christophe

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: ISSN: 0734-211X.

مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

Relation: hal-01860237; https://hal.science/hal-01860237; https://hal.science/hal-01860237/document; https://hal.science/hal-01860237/file/sarrazin2018.pdf

الاتاحة: https://hal.science/hal-01860237
https://hal.science/hal-01860237/document
https://hal.science/hal-01860237/file/sarrazin2018.pdf
https://doi.org/10.1116/1.5034133

المؤلفون: Croisy, Marion, Pargon, Erwine, Jenny, Cécile, Richard, Claire, Guiheux, Denis, Joblot, Sylvain, Campo, Alain, Posseme, Nicolas

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: ISSN: 0167-9317.

مصطلحات موضوعية: Blister, Hydrogen plasma, Stripping, Defectivity, Implanted substrate, High dose implant stripping, [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942730
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942730v1/document
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942730v1/file/croisy2018.pdf
https://doi.org/10.1016/j.mee.2018.03.001

المؤلفون: Posseme, Nicolas, Garcia-Barros, Maxime, Leverd, François, Benoit, Daniel, Pollet, Olivier, Audoit, Guillaume, Guedj, Cyril, Jannaud, Audrey, Barnola, S.

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), SERMA Technologies

المصدر: ISSN: 0734-211X.

مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics]

Relation: cea-02185184; https://cea.hal.science/cea-02185184; https://cea.hal.science/cea-02185184/document; https://cea.hal.science/cea-02185184/file/posseme2018.pdf

الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-02185184
https://cea.hal.science/cea-02185184/document
https://cea.hal.science/cea-02185184/file/posseme2018.pdf
https://doi.org/10.1116/1.5038617

المؤلفون: Fontaine, Benjamin, Boixaderas, Christelle, Dubois, Jérôme, Gouraud, Pascal, Rival, Arnaud, Posseme, Nicolas

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Sep2023, Vol. 41 Issue 5, p1-12, 12p

مصطلحات موضوعية: PLASMA etching, GERMANIUM, X-ray photoelectron spectroscopy, RANDOM access memory, TELLURIUM, X-ray spectroscopy, ANTIMONY