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1Academic Journal
المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Jaffal, Moustapha, Lefevre, Gauthier, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, SUNY Polytechnic Institute (SUNY POLY), State University of New York (SUNY), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)
المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (3), pp.032416. ⟨10.1116/6.0000649⟩.
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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2Academic Journal
المؤلفون: Chaker, Ahmad, Vallée, Christophe, Pesce, Vincent, Belahcen, Samia, Vallat, Rémi, Gassilloud, Rémy, Possémé, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Bsiesy, A.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)
المصدر: ISSN: 0003-6951.
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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3Conference
المؤلفون: Moustapha, Jaffal, Yeghoyan, Taguhi, Belahcen, Samia, Pesce, Vincent, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
المصدر: 29th Materials for Advanced Metallization 2020
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449538
29th Materials for Advanced Metallization 2020, 2020, conference virtuelle, Franceمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: France
Time: conference virtuelle, France
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4Conference
المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449301
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, Franceمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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5Conference
المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)
المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, France. ⟨10.1116/6.0000969⟩مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
Relation: hal-03449336; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
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6Conference
المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, Franceمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
Relation: hal-03449336; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
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7Conference
المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefèvre, Gauthier, Belahcen, Samia, Jaffal, Moustapha, Gassilloud, Rémi, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )
المصدر: RAFALD 2019 ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449213 ; RAFALD 2019, Nov 2019, Toulouse, France
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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8Academic Journal
المؤلفون: Brémond, Paul, Koita, Abdoulaye, Marque, Sylvain R.A., Pesce, Vincent, Roubaud, Valérie, Siri, Didier
المساهمون: Institut de Chimie Radicalaire (ICR), Aix Marseille Université (AMU)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Chimie Provence (LCP), Université de Provence - Aix-Marseille 1-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
المصدر: ISSN: 1523-7060.
مصطلحات موضوعية: [CHIM.THEO]Chemical Sciences/Theoretical and/or physical chemistry
Relation: hal-01415186; https://amu.hal.science/hal-01415186