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    Academic Journal
    1019 逐次 2 点法によるシリコン基板の平面度測定に関する研究(第 2 報) : 静圧支持系他の安定化による高精度測定 / Flatness Measurement of Si Substrate by Sequential-Two-Points Method (2^ Report) : High precision measurement by the stabilization of hydrostatic pressure support system

    المؤلفون: Hisayoshi SATO, Kanta NAKAGAWA, Kazunori UMEDA, Mitsuo TAKAHASHI, Noboru OKUNO, Wei Ming He, Yasuhiro TANI, 中川 寛太, 佐藤 壽芳, 何 偉銘, 奥野 昇, 梅田 和昇, 谷 泰弘, 高橋 満雄

    المصدر: The Proceedings of Conference of Kanto Branch. 2002, :357


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  2. 2
    Academic Journal
    HIGH PERFORMANCE INVESTIGATION OF CRACK IN LINING CONCRETE BY LASER MEASUREMENT SYSTEM / レーザー光線による覆工コンクリートのひび割れ調査法の高性能化

    المؤلفون: Isamu YOSHITAKE, Koichi SHIMAZU, Koji BABA, Koji NAKAGAWA, Noboru OKUNO, Tetsuo ITO, 中川 浩二, 伊藤 哲男, 吉武 勇, 奥野 昇, 嶋津 幸一, 馬場 弘二

    المصدر: 土木学会論文集 / Doboku Gakkai Ronbunshu. 2005, 2005(788):788-195

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  3. 3
    Academic Journal
    Measurement of flatness form accuracy for Si substrate by continuous sequential-two-points method / 連続逐次2点法によるSi基板平面形状測定に関する研究

    المؤلفون: Hisayoshi SATO, Kazunori UMEDA, Mitsuo TAKAHASHI, Noboru OKUNO, Tohru IHARA, Wei-Ming HE, Yasuhiro TANI, 井原 透, 佐藤 壽芳, 何 偉銘, 奥野 昇, 梅田 和昇, 谷 泰弘, 高橋 満雄

    المصدر: 砥粒加工学会誌 / Journal of the Japan Society for Abrasive Technology. 2005, 49(6):328

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  4. 4
    Academic Journal
    Measurement of the Flatness Accuracy for Si Substrate by Sequential-Two-Points Method : 1st Report, Surface Profile Measurement Along Diameter and Periphery Considering Supporting Boundary Conditions / 逐次2点法によるシリコン基板の平面形状測定に関する研究 : 第1報,支持条件を考慮した直径及び外円周形状測定(機械力学,計測,自動制御)

    المؤلفون: Hisayoshi SATO, Kazunori UMEDA, Kenkoku KOBARI, Mitsuo TAKAHASHI, Noboru OKUNO, Wei-Ming HE, Yasuhiro TANI, 佐藤 壽芳, 何 偉銘, 奥野 昇, 小張 建国, 梅田 和昇, 谷 泰弘, 高橋 満雄

    المصدر: 日本機械学会論文集 C編 / Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C. 2003, 69(682):1618

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  5. 5
    Academic Journal
    The Rock Cutting with Roller Cutters / ローラカッタによる岩石掘削に関する研究

    المؤلفون: Noboru OKUNO, Yuichi NISHIMATSU, Yukihisa HIRASAWA, 奥野 昇, 平沢 幸久, 西松 裕一

    المصدر: 日本鉱業会誌 / Journal of the Mining and Metallurgical Institute of Japan. 1975, 91(1052):653

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