نتائج البحث - "Mutsuya Takahashi"

1

Academic Journal

Improvement of Alignment Accuracy in a 3D Microfabrication Method using Surface Activated Bonding of Thin Films / 薄膜の常温接合による微細3次元形状創成法におけるアライメント精度の改善

المؤلفون: Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, 山田高幸, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2002, :372

2

Academic Journal

Development of Manufacturing Equipment for 3D Micro-devices using surface-activated bonding / 常温接合を用いた3次元マイクロデバイス製造装置の開発

المؤلفون: Masato Kinouchi, Mutsuya Takahashi, Osamu Hasegawa, Satoshi Tawara, Shin Asano, Takayuki Goto, Takayuki Yamada, Takeshi Tsuno, 山田高幸, 後藤崇之, 木ノ内雅人, 津野武志, 浅野伸, 田原諭, 長谷川修, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :89

3

Academic Journal

Planarization of Thin Film Surface by CMP for surface-activated bonding / 薄膜の常温接合表面のCMPによる平坦化

المؤلفون: Kazuaki Tabata, Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, Yoshihisa Yamazaki, 山崎芳文, 山田高幸, 田畑和章, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :317

4

Academic Journal

Development of a Bonding and Measurement Equipment and in-situ Evaluation of Bonding Strength by Surface-Activated Bonding / in-situ常温接合引張試験機の開発と接合強度の評価

المؤلفون: Kazuaki Tabata, Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, 山田高幸, 田畑和章, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2006, :927

5

Academic Journal

HIGH PERFORMANCE MICROCOOLER FABRICATED BY MULTIPLE STACKING OF ELECTROPLATED METAL PATTERNS / 電鋳膜の積層による高性能マイクロクーラの作製と評価

المؤلفون: Daisuke Nagao, Kazuaki Tabata, Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, 山田高幸, 田畑和章, 長尾太介, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2007, :873

6

Academic Journal

Development of evaluation method of an overlay error for 3D microfabrication technology / 積層造形法におけるオーバーレイ誤差の評価方法の開発

المؤلفون: Kimiyuki Mitsui, Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, 三井公之, 山田高幸, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2008, :705

7

Academic Journal

Improvement in Thin Film Transfer in a 3D Microfabrication Method Using Surface Activated Bonding of Thin Films / 薄膜の常温接合による微細3次元形状創成法における薄膜パターンの転写性改善

المؤلفون: Hiroyuki Hotta, Mutsuya Takahashi, Takayuki Yamada, 堀田宏之, 山田高幸, 高橋睦也

المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2003, :218

8

Academic Journal

Development of Evaluation Method of an Overlay Error for 3D Microfabrication Technology / 積層造形法におけるオーバーレイ誤差の評価方法の開発

المؤلفون: Kimiyuki MITSUI, Mutsuya TAKAHASHI, Takayuki YAMADA, 三井公之, 山田高幸, 高橋睦也

المصدر: 精密工学会誌 / Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2009, 75(4):514

9

Academic Journal

Proposal and Verification of a Novel Fabrivation Method for 3-D Microstructures using Surface-Activated Bonding of Thin Films / 薄膜の常温接合による微小3次元形状創成法の提案と検証

المؤلفون: Mutsuya TAKAHASHI, Takayuki YAMADA, 山田高幸, 高橋睦也

المصدر: 精密工学会誌 / Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2000, 66(8):1265

10

Academic Journal

A Study of Thin Film Transfer in A Novel Fabrication Method for 3-D Microstructures using Surface-Activated Bonding

المؤلفون: Mutsuya TAKAHASHI, Takayuki YAMADA

المصدر: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2000, 120(7):333

تنقيح النتائج