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1
المؤلفون: Justine Lespiaux, Fabien Deprat, Jérémy Vives, Romain Duru, Mehmet Bicer, Alexis Gauthier, Edoardo Brezza, Marc Juhel, Florence Chenevas-Paule, Alain Baron, Alexia Valery, Jean-Michel Hartmann
المصدر: ECS Transactions. 109:217-236
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2
المؤلفون: Fabien Deprat, Jérémy Vives, Marc Juhel, Alexia Valery, Justine Lespiaux, Alain Baron, Edoardo Brezza, Alexis Gauthier
المصدر: ECS Transactions. 109:159-169
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3
المؤلفون: Jérémy Vives, Stephane Verdier, Fabien Deprat, Marvin Frauenrath, Romain Duru, Marc Juhel, Gregory Berthome, Didier Chaussende
المصدر: Journal of Materials Chemistry C.
مصطلحات موضوعية: Materials Chemistry, General Chemistry
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4
المؤلفون: Justine Lespiaux, Fabien Deprat, Jérémy Vives, Romain Duru, Mehmet Bicer, Alexis Gauthier, Edoardo Brezza, Marc Juhel, Florence Chenevas-Paule, Alain Baron, Alexia Valery, Jean-Michel Hartmann
المصدر: ECS Meeting Abstracts. :1214-1214
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5
المؤلفون: Jérémy Vives, Fabien Deprat, Didier Dutartre, Justine Lespiaux, Romain Duru, Mehmet Bicer, Nathalie Drogue, Marc Juhel, Didier Chaussende
المصدر: ECS Meeting Abstracts. :1215-1215
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6
المؤلفون: Alestair Wilson, Erwann Fourmond, Bilel Saidi, Benjamin Fornacciari, Solène Brottet, Marc Juhel, Mickael Gros-Jean
المصدر: physica status solidi (a). 219:2100876
مصطلحات موضوعية: Materials Chemistry, Surfaces and Interfaces, Electrical and Electronic Engineering, Condensed Matter Physics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials
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7
المؤلفون: G. Imbert, Catherine Chaton, Marie-Astrid Pin, Jean Baptiste Moulard, D. Ney, Veronique Guyader, P. Lamontagne, Geneviève Duchamp, Hélène Fremont, Daniel Benoit, Vivien Cartailler, Mustapha Rafik, Marc Juhel
المصدر: 2019 IEEE International Integrated Reliability Workshop (IIRW).
مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, Moisture, 02 engineering and technology, Dielectric, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, Capacitance, Seal (mechanical), Secondary ion mass spectrometry, Back end of line, Time of flight, 0103 physical sciences, Relative humidity, Composite material, 0210 nano-technology
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8
المؤلفون: Sylvain Joblot, Magali Gregoire, Marc Juhel, Alexia Valéry, R.A. Bianchi, E. Ghegin, Remi Vallat, J. Borrel
المصدر: 2019 19th International Workshop on Junction Technology (IWJT).
مصطلحات موضوعية: Semiconductor industry, chemistry.chemical_compound, Materials science, chemistry, Surface preparation, Silicide, Process integration, Node (circuits), Area density, Engineering physics
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9
المؤلفون: A. Pakfar, P. Boulenc, Fuccio Cristiano, Francois Wacquant, Christoph Zechner, Pierre Morin, B. Pelletier, Zahi Essa, Clement Tavernier, Marc Juhel, Jean-Luc Autran
المساهمون: Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique (LAAS-MPN), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP), Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU), STMicroelectronics [Crolles] ( ST-CROLLES ), Géoazur ( GEOAZUR ), Université Nice Sophia Antipolis ( UNS ), Université Côte d'Azur ( UCA ) -Université Côte d'Azur ( UCA ) -Institut national des sciences de l'Univers ( INSU - CNRS ) -Observatoire de la Côte d'Azur, Université Côte d'Azur ( UCA ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Universidade do Minho, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 ( IEMN ), Ecole Centrale de Lille-Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN)-Université Polytechnique Hauts-de-France ( UPHF ) -Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence ( IM2NP ), Aix Marseille Université ( AMU ) -Université de Toulon ( UTLN ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique ( LAAS-MPN ), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse] ( LAAS ), Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Toulouse III - Paul Sabatier ( UPS ), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse ( INSA Toulouse ), Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National Polytechnique [Toulouse] ( INP ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Toulouse III - Paul Sabatier ( UPS ), Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National Polytechnique [Toulouse] ( INP ), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
المصدر: Solid-State Electronics
Solid-State Electronics, Elsevier, 2016, 126, pp.163-169. ⟨10.1016/j.sse.2016.08.002⟩
Solid-State Electronics, Elsevier, 2016, 126, pp.163-169. 〈10.1016/j.sse.2016.08.002〉
Solid-State Electronics, 2016, 126, pp.163-169. ⟨10.1016/j.sse.2016.08.002⟩مصطلحات موضوعية: inorganic chemicals, Materials science, Silicon, [ SPI.MAT ] Engineering Sciences [physics]/Materials, Inorganic chemistry, [ PHYS.COND.CM-MS ] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Oxide, chemistry.chemical_element, Equivalent oxide thickness, 02 engineering and technology, Oxide thin-film transistor, complex mixtures, 01 natural sciences, chemistry.chemical_compound, 0103 physical sciences, [ SPI ] Engineering Sciences [physics], Materials Chemistry, LOCOS, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Electrical and Electronic Engineering, Silicon oxide, 010302 applied physics, [ PHYS ] Physics [physics], business.industry, technology, industry, and agriculture, Strained silicon, equipment and supplies, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, Electronic, Optical and Magnetic Materials, stomatognathic diseases, Silicon nitride, chemistry, Optoelectronics, [ SPI.NANO ] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, business
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10
المؤلفون: M. Lemang, Ph. Rodriguez, Magali Gregoire, Marc Juhel, Patrice Gergaud, B. Saidi, Dominique Mangelinck, Fabrice Nemouchi
المساهمون: STMicroelectronics, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP), Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU), Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
المصدر: Microelectronic Engineering
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2018, 202, pp.25-30. ⟨10.1016/j.mee.2018.10.005⟩
Microelectronic Engineering, 2018, 202, pp.25-30. ⟨10.1016/j.mee.2018.10.005⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, In situ, Diffraction, Materials science, Annealing (metallurgy), Doping, Analytical chemistry, 02 engineering and technology, [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, 01 natural sciences, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, chemistry.chemical_compound, chemistry, 0103 physical sciences, Silicide, Grain boundary, Redistribution (chemistry), Electrical and Electronic Engineering, Thin film, 0210 nano-technology, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
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11
المؤلفون: Pascal Chevalier, L. Clement, M. Buczko, Alexis Gauthier, A. Montagne, J. Borrel, C. Borowiak, Marc Juhel, G. Avenier, C. Gaquiere, Romain Duru
المصدر: 2018 IEEE BiCMOS and Compound Semiconductor Integrated Circuits and Technology Symposium (BCICTS).
مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, Silicon, Dopant, business.industry, Annealing (metallurgy), Heterojunction bipolar transistor, 020208 electrical & electronic engineering, Doping, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, CMOS, chemistry, 0103 physical sciences, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Optoelectronics, business
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12
المؤلفون: Vincent Lu, Fuccio Cristiano, Denis Rideau, Remi Beneyton, Nicolas Guitard, Marc Juhel, Edwin Arevalo, Wei Zou, C. Borowiak, Thomas Nassiet, Frederic Monsieur, E. Ghegin, L. Pinzelli, J. Borrel, K. Dabertrand, Romain Duru, L. Clément, Evan Oudot, Sylvain Joblot
المصدر: 2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT).
مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Condensed Matter::Materials Science, Work (thermodynamics), Ion implantation, Photoluminescence, Materials science, 0103 physical sciences, Radiative transfer, Kinetic Monte Carlo, 01 natural sciences, Molecular physics, Characterization (materials science)
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13
المؤلفون: Ph. Rodriguez, Fabrice Nemouchi, M. Lemang, Dominique Mangelinck, Magali Gregoire, Marc Juhel
المساهمون: STMicroelectronics, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP), Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU)
المصدر: Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, 2018, 123 (8), ⟨10.1063/1.5020123⟩
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2018, 123 (8), ⟨10.1063/1.5020123⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Surface diffusion, Materials science, Annealing (metallurgy), Analytical chemistry, General Physics and Astronomy, 02 engineering and technology, Atom probe, [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, law.invention, Secondary ion mass spectrometry, chemistry.chemical_compound, Time of flight, chemistry, law, 0103 physical sciences, Silicide, Grain boundary, Redistribution (chemistry), 0210 nano-technology, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
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14
المؤلفون: F. Cheynis, P. Maury, Maxime Labrot, Marc Juhel, Sébastien Lagrasta, D. Barge, Pierre Müller
المساهمون: Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille (CINaM), Aix Marseille Université (AMU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Laboratoire de Météorologie Dynamique (UMR 8539) (LMD), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-École polytechnique (X)-École des Ponts ParisTech (ENPC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Département des Géosciences - ENS Paris, École normale supérieure - Paris (ENS-PSL), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École normale supérieure - Paris (ENS-PSL), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL), Département des Géosciences - ENS Paris, École normale supérieure - Paris (ENS Paris), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École normale supérieure - Paris (ENS Paris), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École des Ponts ParisTech (ENPC)-École polytechnique (X)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)
المصدر: Microelectronic Engineering
Microelectronic Engineering, 2017, 180, pp.56-64. ⟨10.1016/j.mee.2017.04.009⟩
Microelectronic Engineering, Elsevier, 2017, 180, pp.56-64. ⟨10.1016/j.mee.2017.04.009⟩مصطلحات موضوعية: Materials science, Fabrication, SiGe, Silicon on insulator, Insulator (electricity), 02 engineering and technology, Surface finish, 01 natural sciences, Etching (microfabrication), 0103 physical sciences, Microelectronics, Wafer, Electrical and Electronic Engineering, [PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat], 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], business.industry, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, SiCoNi TM Preclean, CMOS, 13. Climate action, WET clean, Optoelectronics, FD-SOI, 0210 nano-technology, business, Raised Source/Drain, SiBCN
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15
المؤلفون: Marc Juhel, Didier Blavette, Magali Gregoire, Germain Servanton, Adeline Grenier, Pascal Chevalier, L. Clément, F. Lorut, Robert Estivill
المساهمون: Laboratoire de chimie de coordination (LCC), Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie de Toulouse (ICT-FR 2599), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Groupe de physique des matériaux (GPM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU), ANR-12-NANO-0001,APTITUDE,Etude par Sonde Atomique Tomographique de dispositifs 3D de la nanoélectronique : mise en place d'outils Innovants de Reconstruction et d'analyse quantitative.(2012), Institut de Chimie de Toulouse (ICT), Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
المصدر: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2017, 110, pp.252105. ⟨10.1063/1.4989676⟩
Applied Physics Letters, 2017, 110, pp.252105. ⟨10.1063/1.4989676⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, Physics and Astronomy (miscellaneous), business.industry, Heterojunction bipolar transistor, Transistor, Bipolar junction transistor, Heterojunction, 02 engineering and technology, BiCMOS, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, law.invention, law, 0103 physical sciences, MOSFET, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Microelectronics, Optoelectronics, Field-effect transistor, 0210 nano-technology, business
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16
المؤلفون: F. Abbate, E Baylac, Clement Pribat, D. Barge, Marc Juhel, C. Gaumer, A. Pofelski, Vincent Mazzocchi, Germain Serventon, Olivier Gourhant, Francois Andrieu, Maud Bidaud
المصدر: ECS Transactions. 64:469-478
مصطلحات موضوعية: Thermal oxidation, Materials science, Chemical engineering, business.industry, Condensation, Substrate (printing), Structural engineering, business
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17
المؤلفون: Marion Descoins, Marc Juhel, Roland Pantel, Federico Panciera, Dominique Mangelinck, Magali Gregoire, Khalid Hoummada, C. Perrin, M. El Kousseifi
المصدر: Microelectronic Engineering. 120:34-40
مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Annealing (metallurgy), Atom probe, Condensed Matter Physics, Salicide, Atomic units, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, chemistry.chemical_compound, CMOS, chemistry, law, Silicide, Optoelectronics, Wafer, Electrical and Electronic Engineering, business, NMOS logic
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18
المؤلفون: Michael Texier, Magali Gregoire, Khalid Hoummada, Dominique Mangelinck, Anthony De Luca, Marc Juhel, Federico Panciera, M. Bertoglio
المصدر: Scripta Materialia. :9-12
مصطلحات موضوعية: Diffraction, Materials science, Mechanical Engineering, Metals and Alloys, Analytical chemistry, Substrate (electronics), Atom probe, Condensed Matter Physics, Epitaxy, law.invention, Metal, Crystallography, Mechanics of Materials, Transmission electron microscopy, law, visual_art, Metastability, Phase (matter), visual_art.visual_art_medium, General Materials Science
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19
المؤلفون: Federico Panciera, Magali Gregoire, Khalid Hoummada, Marc Juhel, D. Mangelinck
المصدر: Microelectronic Engineering. 107:173-177
مصطلحات موضوعية: Materials science, Annealing (metallurgy), Metallurgy, Transistor, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, Atom probe, Condensed Matter Physics, Salicide, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, chemistry, law, Redistribution (chemistry), Crystallite, Electrical and Electronic Engineering, Platinum, Stoichiometry
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20
المؤلفون: N. Bicais, D. Mangelinck, F. Lorut, Federico Panciera, Magali Gregoire, Khalid Hoummada, Marc Juhel
المصدر: Microelectronic Engineering. 107:167-172
مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Transistor, Nanotechnology, Hardware_PERFORMANCEANDRELIABILITY, Atom probe, Condensed Matter Physics, Focused ion beam, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, CMOS, law, Hardware_INTEGRATEDCIRCUITS, Microelectronics, Optoelectronics, Sample preparation, Static random-access memory, Electrical and Electronic Engineering, business, Metal gate, Hardware_LOGICDESIGN