المؤلفون: D. H. Alsem A, E. A. Stach D, M. T. Dugger E, M. Enachescu B, R. O. Ritchie A

المساهمون: The Pennsylvania State University CiteSeerX Archives

المصدر: http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-07.pdf.

مصطلحات موضوعية: Silicon, MEMS, Wear, Electron microscopy

وصف الملف: application/pdf

Relation: http://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/summary?doi=10.1.1.75.3143; http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-07.pdf

الاتاحة: http://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/summary?doi=10.1.1.75.3143
http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-07.pdf

المؤلفون: D. H. Alsem A, E. A. Stach D, M. T. Dugger E, M. Enachescu B, R. O. Ritchie A

المساهمون: The Pennsylvania State University CiteSeerX Archives

المصدر: http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-06.pdf.

مصطلحات موضوعية: Silicon, MEMS, Wear, Electron microscopy

وصف الملف: application/pdf

Relation: http://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/summary?doi=10.1.1.81.6671; http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-06.pdf

الاتاحة: http://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/summary?doi=10.1.1.81.6671
http://www.lbl.gov/Ritchie/Library/PDF/ThinSolidFilms-06.pdf