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المؤلفون: 柳井, 秀仁, 25576, ヤナイ, ヒデノリ, Yanai, Hidenori, 川添, 圭祐, 25577, カワゾエ, ケイスケ, Kawazoe, Keisuke, 桑水流, 康記, 25578, クワズル, ヤスノリ, Kuwazuru, Yasunori, 小野, 聡一郎, 25579, オノ, ソウイチロウ, Ono, Souichirou, 長川, 裕耶, 25580, ナガカワ, ユウヤ, Nagakawa, Yuya, 亀山, 晃弘, 13615, カメヤマ, アキヒロ, 00264367, Kameyama, Akihiro, 横谷, 篤至, 12038, ヨコタニ, アツシ, 00183989, Yokotani, Atsushi, 25585
مصطلحات موضوعية: Lower processing temperature, Mist, Vaporization, Vacuum ultraviolet-CVD, TEOS, Flat silica films, Reduced pressure
وصف الملف: application/pdf
Relation: 宮崎大学工学部紀要; 44; 77; 81; Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki; AA00732558; http://hdl.handle.net/10458/5567
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المؤلفون: 川添, 圭祐, 25577, カワゾエ, ケイスケ, Kawazoe, Keisuke, 柳井, 秀仁, 25576, ヤナイ, ヒデノリ, Yanai, Hidenori, 桑水流, 康記, 25578, クワズル, ヤスノリ, Kuwazuru, Yasunori, 小野, 聡一郎, 25579, オノ, ソウイチロウ, Ono, Souichirou, 長川, 裕耶, 25580, ナガカワ, ユウヤ, Nagakawa, Yuya, 亀山, 晃弘, 13615, カメヤマ, アキヒロ, 00264367, Kameyama, Akihiro, 横谷, 篤至, 12038, ヨコタニ, アツシ, 00183989, Yokotani, Atsushi, 25599
مصطلحات موضوعية: Vacuum ultraviolet CVD, Deposition, Nd:YAG laser, Laser damage resistance
وصف الملف: application/pdf
Relation: 宮崎大学工学部紀要; 44; 83; 86; Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki; AA00732558; http://hdl.handle.net/10458/5568