Alternate Title: Вплив температури підкладки на структуру та оптичні властивості тонких плівок NiO, осаджених методом магнетронного розпилення в режимі пошарового росту. (Ukrainian)

المؤلفون: Ievtushenko, A. I., Karpyna, V. A., Bykov, O. I., Dranchuk, M. V., Kolomys, O. F., Maziar, D. M., Strelchuk, V. V., Starik, S. P., Baturin, V. A., Karpenko, О. Y., Lytvyn, O. S.

المصدر: Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics; 2023, Vol. 26 Issue 4, p398-407, 10p

مصطلحات موضوعية: MAGNETRON sputtering, THIN films, OPTICAL properties, SURFACE roughness, SURFACE analysis