المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Jaffal, Moustapha, Lefevre, Gauthier, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, SUNY Polytechnic Institute (SUNY POLY), State University of New York (SUNY), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (3), pp.032416. ⟨10.1116/6.0000649⟩.

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060v1/document
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060v1/file/Yeghoyan2021.pdf
https://doi.org/10.1116/6.0000649

المؤلفون: Jaffal, Moustapha

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université Grenoble Alpes 2020-., Nicolas Possémé, Thierry Chevolleau, Rémy Gassilloud, Marceline Bonvalot

المصدر: https://theses.hal.science/tel-04729482 ; Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-.], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT046⟩.

مصطلحات موضوعية: TSD, PE(ALD), Quasi-ALE, Spacers gate, Ta2O5, Si3N4, Espaceurs de grille, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Relation: NNT: 2024GRALT046

الاتاحة: https://theses.hal.science/tel-04729482
https://theses.hal.science/tel-04729482v1/document
https://theses.hal.science/tel-04729482v1/file/JAFFAL_2024_archivage.pdf

المؤلفون: Nguyen, Viet Huong, Sekkat, Abderrahime, Masse de La Huerta, César Arturo, Zoubian, Fadi, Crivello, Chiara, Rubio-Zuazo, Juan, Jaffal, Moustapha, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe, Aubry, Olivier, Rabat, Hervé, Hong, Dunpin, Muñoz-Rojas, David

المساهمون: Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Phenikaa University, Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), European Synchrotron Radiation Facility (ESRF), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-16-CE05-0021,DESPATCH,Développement de la méthode à séparation spatiale de dépôt par couches atomiques assistée plasma pour des applications photovoltaïques(2016), ANR-17-CE05-0034,OXYGENE,OXYdes fonctionnalisés pour jonctions ultra-minces et contacts tunnel : vers une nouvelle GENEration de cellules photovoltaïques en silicium cristallin(2017)

المصدر: ISSN: 0897-4756.

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917572
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917572v1/document
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917572v1/file/Revised_Manuscript_highlighted_1904.pdf
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c01148

المؤلفون: Vallee, Christophe, Bonvalot, Marceline, Belahcen, Samia, Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Vallat, Rémi, Chaker, Ahmad, Lefèvre, Gautier, David, Sylvain, Bsiesy, Ahmad, Posseme, Nicolas, Gassilloud, Rémy, Granier, Agnès

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université de Tsukuba = University of Tsukuba, University of Manchester Manchester, Photon Science Institute Manchester (PSI), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.science/hal-02586207 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2020, 38 (3), pp.033007. ⟨10.1116/1.5140841⟩.

مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

الاتاحة: https://hal.science/hal-02586207
https://hal.science/hal-02586207v1/document
https://hal.science/hal-02586207v1/file/GRANIER_JVSTA_2020_38_033007.pdf
https://doi.org/10.1116/1.5140841

المؤلفون: Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe, Mannequin, Cédric, Jaffal, Moustapha, Gassilloud, Rémy, Possémé, Nicolas, Chevolleau, Thierry

المصدر: Dalton Transactions ; volume 51, issue 2, page 442-450 ; ISSN 1477-9226 1477-9234

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1039/d1dt03456a
http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2022/DT/D1DT03456A

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Scoggin, Guy, Lefevre, Gauthier, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: 7ème edition du colloque RAFALD
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449155
7ème edition du colloque RAFALD, Nov 2021, Marseille, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Marseille, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449155

المؤلفون: Vallee, Christophe, Bonvalot, Marceline, Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Posseme, Nicolas, Gassilloud, Remy, Chevolleau, Thierry

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X (SPIE) 2021 ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449527 ; Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X (SPIE) 2021, 2021, conference virtuelle, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: France

Time: conference virtuelle, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449527

المؤلفون: Lefevre, Gauthier, Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Vallee, Christophe, Bonvalot, Marceline

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: Advanced Nanomaterials Congress 2021 ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449194 ; Advanced Nanomaterials Congress 2021, Oct 2021, Stockolm, Sweden

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Stockolm, Sweden

Time: Stockolm, Sweden

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449194

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Lefevre, Gauthier, Yeghoyan, Taguhi, Chevolleau, Thierry, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: ALD/ALE 2021 Virtual Meeting Overview - ALD 2021 – AVS ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449379 ; ALD/ALE 2021 Virtual Meeting Overview - ALD 2021 – AVS, 2021, Virtual Meeting, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Virtual Meeting, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449379

المؤلفون: Bonvalot, Marceline, Vallee, Christophe, Mannequin, Cedric, Jaffal, Moustapha, Gassilloud, Remy, Posseme, Nicolas, Chevolleau, Thierry

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: Dalton Transactions
Dalton Transactions, Royal Society of Chemistry, 2021, ⟨10.1039/D1DT03456A⟩
Dalton Transactions, 2021, ⟨10.1039/D1DT03456A⟩

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::361df46b0e8c604aacd34788f31ba51c
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449134

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Lefevre, Gauthier, Chevolleau, Thierry, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: 6 ème Workshop RAFALD 2020
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449579
6 ème Workshop RAFALD 2020, Nov 2020, Marseille, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Marseille, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449579

المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Lefèvre, Gauthier, Rémi, Gassilloud, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: 5th Area Selective Deposition Workshop (ASD 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449258
5th Area Selective Deposition Workshop (ASD 2020), Apr 2020, Palo alto, United States

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Palo alto, United States

Time: Palo alto, United States

Relation: hal-03449258; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449258

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449258

المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Jaffal, Moustapha, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449301
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: virtuelle, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449301

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, France. ⟨10.1116/6.0000969⟩

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: virtuelle, France

Relation: hal-03449336; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
https://doi.org/10.1116/6.0000969

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefevre, Gauthier, Chaker, Ahmad, David, Sylvain, Gassilloud, Rémy, Posseme, Nicolas, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)

المصدر: 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020)
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: virtuelle, France

Relation: hal-03449336; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336

المؤلفون: Belahcen, Samia, Vallée, Christophe, Bsiesy, Ahmad, Chaker, Ahmad, Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Bonvalot, Marceline

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-EQPX-0033,IMPACT,Caractérisation et Test In-situ des Matériaux, Procédés et des Architectures(2010), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449120 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (1), pp.012410. ⟨10.1116/6.0000655⟩.

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449120
https://doi.org/10.1116/6.0000655

المؤلفون: Yeghoyan, Taguhi, Pesce, Vincent, Lefèvre, Gauthier, Belahcen, Samia, Jaffal, Moustapha, Gassilloud, Rémi, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )

المصدر: RAFALD 2019 ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449213 ; RAFALD 2019, Nov 2019, Toulouse, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]

جغرافية الموضوع: Toulouse, France

الاتاحة: https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449213

المؤلفون: Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Lefèvre, Gauthier, Gassilloud, Rémy, Possémé, Nicolas, Vallée, Christophe, Bonvalot, Marceline

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2021, Vol. 39 Issue 3, p1-7, 7p

مصطلحات موضوعية: ATOMIC layer deposition, ETCHING, KINETIC energy, FLUORINATION, TANTALUM

المؤلفون: Belahcen, Samia, Vallée, Christophe, Bsiesy, Ahmad, Chaker, Ahmad, Jaffal, Moustapha, Yeghoyan, Taguhi, Bonvalot, Marceline

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Jan2021, Vol. 39 Issue 1, p1-8, 8p

مصطلحات موضوعية: ATOMIC layer deposition, PLASMA chemistry, ION energy, TITANIUM nitride films, PLASMA gases, INDUCTIVELY coupled plasma atomic emission spectrometry

المؤلفون: Nguyen, Viet Huong, Sekkat, Abderrahime, Masse de la Huerta, César Arturo, Zoubian, Fadi, Crivello, Chiara, Rubio-Zuazo, Juan, Jaffal, Moustapha, Bonvalot, Marceline, Vallée, Christophe, Aubry, Olivier, Rabat, Hervé, Hong, Dunpin, Muñoz-Rojas, David

المصدر: Chemistry of Materials; June 2020, Vol. 32 Issue: 12 p5153-5161, 9p