المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Коломієць, Віталій Ігорович, Кравченко, Юрий Степанович, Kravchenko, Yurii Stepanovych

مصطلحات موضوعية: H01L 21/306, плазмохімічне травлення мікроструктур, хлорвуглецева плазма, електронна техніка, формування рисунку мікросхеми

وصف الملف: application/pdf

Relation: 95442; Пат. 95442 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, В. І. Коломієць (Україна). - № u201407269; заявл. 27.06.2014; опубл. 25.12.2014, Бюл. № 24. - 4 с. : кресл.; http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/243

الاتاحة: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/243

المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Кравченко, Сергій Юрійович, Кравченко, Юрий Степанович, Кравченко, Сергей Юрьевич, Kravchenko, Yurii Stepanovych, Kravchenko, Serhii Yuriiovych

مصطلحات موضوعية: H01L 21/306, хлоровуглецева плазма, спосіб плазмового травлення, електронна техніка, рельєф напівпровідникових структур

وصف الملف: application/pdf

Relation: 79431; Пат. 79431 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, С. Ю. Кравченко (Україна). - № u201211051; заявл. 24.09.2012; опубл. 25.04.2013, Бюл. № 8. - 4 с. : кресл.; http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172

الاتاحة: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172

المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Плахотнюк, Максим Миколайович, Кравченко, Юрий Степанович, Плахотнюк, Максим Николаевич, Kravchenko, Yurii Stepanovych, Plakhotniuk, Maksym Mykolaiovych

مصطلحات موضوعية: H01L 21/306, хлоровуглецева плазма, спосіб плазмового травлення, формування напівпровідникових структур, електронна техніка, оксид олова, оксид індію

وصف الملف: application/pdf

Relation: 22675; Пат. 22675 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова [Текст] / Ю. С. Кравченко, М. М. Плахотнюк (Україна). - № u200613072; заявл. 11.12.2006; опубл. 25.04.2007, Бюл. № 5. - 2 с. : кресл.; http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835

الاتاحة: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835

المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Коломієць, Віталій Ігорович, Кравченко, Юрий Степанович, Kravchenko, Yurii Stepanovych

مصطلحات الفهرس: H01L 21/306, плазмохімічне травлення мікроструктур, хлорвуглецева плазма, електронна техніка, формування рисунку мікросхеми, Patent

URL: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/243

Additional Titles: Способ плазменного травления в хлороуглеродной плазме
METHOD FOR PLASMA ETCHING IN CHLOROCARBON PLASMA

المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Кравченко, Сергій Юрійович, Кравченко, Юрий Степанович, Кравченко, Сергей Юрьевич, Kravchenko, Yurii Stepanovych, Kravchenko, Serhii Yuriiovych

مصطلحات الفهرس: H01L 21/306, хлоровуглецева плазма, спосіб плазмового травлення, електронна техніка, рельєф напівпровідникових структур, Other

URL: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172

Additional Titles: Способ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и олова
Plasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxides

المؤلفون: Кравченко, Юрій Степанович, Плахотнюк, Максим Миколайович, Кравченко, Юрий Степанович, Плахотнюк, Максим Николаевич, Kravchenko, Yurii Stepanovych, Plakhotniuk, Maksym Mykolaiovych

مصطلحات الفهرس: H01L 21/306, хлоровуглецева плазма, спосіб плазмового травлення, формування напівпровідникових структур, електронна техніка, оксид олова, оксид індію, Patent

URL: http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835