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1Academic Journal
المؤلفون: Wehbe, Maya, Charles, Matthew, Pino Muñoz, Daniel, Baril, Kilian, Labchir, Nabil, Labau, Sebastien, Gourgon, Cecile, Alloing, Blandine, Coulon, Pierre-Marie, Zuniga-Perez, Jesús, Zatterin, Edoardo, Gergaud, Patrice
المصدر: Journal of Applied Physics; 12/14/2024, Vol. 136 Issue 22, p1-11, 11p
مصطلحات موضوعية: GALLIUM nitride, X-ray microscopy, ELECTRON diffraction, GRAIN farming, CATHODOLUMINESCENCE
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2Report
المؤلفون: Vethaak, Tom Doekle, Gustavo, Frederic, Farjot, Thierry, Kubart, Tomas, Gergaud, Patrice, Zhang, Shi-Li, Lefloch, François, Nemouchi, Fabrice
مصطلحات موضوعية: Condensed Matter - Superconductivity
URL الوصول: http://arxiv.org/abs/2104.00694
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3Conference
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), This research used the Soft Matter Interfaces Beamline (SMI, Beamline 12-ID) of the National Synchrotron Light Source II, a U.S. Department of Energy (DOE) Office of Science User Facility operated for the DOE Office of Science by Brookhaven National Laboratory under Contract No. DE-SC001270.The data that support the findings of this article are not publicly available due to privacy. They can be requested from the corresponding author.STEM characterizations were carried out on the Platform for Nanocharacterisation (PFNC), supported by the “Recherche Technologique de Base” and "France 2030 - ANR-22-PEEL-0014" programs of the French National Research Agency (ANR), Matthew J. Sendelbach, Nivea G. Schuch, ANR-22-PEEL-0014,PFNC,PFNC equipements(2022)
المصدر: Proceedings Volume 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII ; SPIE Advanced Lithography + Patterning 2024 ; https://cea.hal.science/cea-04718684 ; SPIE Advanced Lithography + Patterning 2024, Feb 2024, San José, United States. pp.1295535, ⟨10.1117/12.3010744⟩
مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
جغرافية الموضوع: San José, United States
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4Conference
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: XTOP 2024 - 15th Conference of High Resolution X-ray Diffraction and Imaging ; https://cea.hal.science/cea-04601653 ; XTOP 2024 - 15th Conference of High Resolution X-ray Diffraction and Imaging, Mar 2024, Carry-le-Rouet, France. , 2024 ; https://xtop2024.sciencesconf.org/
مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
جغرافية الموضوع: Carry-le-Rouet, France
Relation: cea-04601653; https://cea.hal.science/cea-04601653; https://cea.hal.science/cea-04601653/document; https://cea.hal.science/cea-04601653/file/Choisnet%20et%20al.%20-%20Small%20Angle%20X-ray%20Scattering%20applications%20for%20advanced%20metrology%20in%20microchips%20manufacturing.pdf
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5Report
المؤلفون: Vethaak, Tom Doekle, Gustavo, Frederic, Farjot, Thierry, Kubart, Tomas, Gergaud, Patrice, Zhang, Shi-Li, Nemouchi, Fabrice, Lefloch, François
مصطلحات موضوعية: Condensed Matter - Superconductivity
URL الوصول: http://arxiv.org/abs/2010.07312
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6Academic Journal
المؤلفون: Huet, Stéphanie, Guerber, Sylvain, Rolland, Emmanuel, Szelag, Bertrand, Gelineau, Guillaume, Moulin, Alexandre, Prudkovskiy, Vladimir, Troutot, Nicolas, Licitra, Christophe, Gergaud, Patrice, Barbet, Sophie, Delcroix, Mathieu, Caridroit, Simon, Amalbert, Vincent, Alonso-Ramos, Carlos, Melati, Daniele, Edmond, Samson, Vivien, Laurent, Mony, Karine, Lapertot, Gérard, Widiez, Julie
المساهمون: Département Composants Silicium (DCOS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Département d'Optronique (DOPT), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS), Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Instrumentation, Material and Correlated Electrons Physics (IMAPEC), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), European Project: 101007237,H2020-ECSEL-2020-1-IA-two-stage,TRANSFORM
المصدر: ISSN: 0255-5476.
مصطلحات موضوعية: [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry, [SPI.GPROC]Engineering Sciences [physics]/Chemical and Process Engineering, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
Relation: info:eu-repo/grantAgreement//101007237/EU/Trusted European SiC Value Chain for a greener Economy/TRANSFORM
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7Academic Journal
المؤلفون: Quintero, Andrea, Coig, Marianne, Mazen, Frédéric, Acosta-Alba, Pablo, Hartmann, Jean-Michel, Gergaud, Patrice, Reboud, Vincent, Rodriguez, Philippe
المساهمون: Agence Nationale de la Recherche, Association Instituts Carnot, Horizon 2020 Framework Programme, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
المصدر: MRS Advances ; ISSN 2731-5894 2059-8521
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8Academic Journal
المؤلفون: Labchir, Nabil, Hammami, Saber, Baril, Kilian, Wehbe, Maya, Labau, Sebastien, Reche, Jerome, Petit-Etienne, Camille, Panabière, Marie, Coulon, Pierre‐marie, Alloing, Blandine, Munoz, Daniel Pino, Zuniga-Perez, Jesus, Gergaud, Patrice, Charles, Matthew, Gourgon, Cécile
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: ISSN: 2365-709X ; Advanced Materials Technologies ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04625869 ; Advanced Materials Technologies, 2024, ⟨10.1002/admt.202400166⟩.
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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9Conference
المؤلفون: Vaxelaire, Nicolas, Nguyen, Kien, Leake, Stephen, Gergaud, Patrice
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), European Synchrotron Radiation Facility Grenoble (ESRF)
المصدر: IWAC 09- 2023 International Workshop on Advanced Ceramics ; https://cea.hal.science/cea-04327464 ; IWAC 09- 2023 International Workshop on Advanced Ceramics, Sep 2023, limoges, France ; https://www.unilim.fr/iwac-registration/
مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
Relation: cea-04327464; https://cea.hal.science/cea-04327464; https://cea.hal.science/cea-04327464/document; https://cea.hal.science/cea-04327464/file/IWAC09_VAXELAIRE.pdf
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10Conference
المؤلفون: Widiez, Julie, Gelineau, Guillaume, Masante, Cédric, Chretien, Jérémie, Moulin, Alexandre, Prudkovskiy, Vladimir, Troutot, Nicolas, Rolland, Emmanuel, Gergaud, Patrice, Mariolle, Denis, Barbet, Sophie, Corbin, Lucie, Amalbert, Vincent, Gilles, Pierrick, Milesi, Frederic, Mazen, Frédéric, Le Van-Jodin, Lucie
المساهمون: Département Composants Silicium (DCOS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), ANR-19-CE05-0025,TRANS-DIAM,Transfert de couches de diamant monocristallin pour les applications de puissance(2019)
المصدر: 2023 MRS Fall - 2023 MRS Fall Meeting and Exhibit
https://cea.hal.science/cea-04409019
2023 MRS Fall - 2023 MRS Fall Meeting and Exhibit, Nov 2023, Boston, United States
https://www.mrs.org/meetings-events/fall-meetings-exhibits/2023-mrs-fall-meetingمصطلحات موضوعية: [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics
جغرافية الموضوع: Boston, United States
Time: Boston, United States
Relation: cea-04409019; https://cea.hal.science/cea-04409019; https://cea.hal.science/cea-04409019/document; https://cea.hal.science/cea-04409019/file/Invited_Abstract_MRS_2023_JWi.pdf
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11Academic Journal
المؤلفون: Wehbe, Maya, Charles, Matthew, Baril, Kilian, Alloing, Blandine, Pino Munoz, Daniel, Labchir, Nabil, Zuniga-Perez, Jesús, Detlefs, Carsten, Yildirim, Can, Gergaud, Patrice
المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre de Mise en Forme des Matériaux (CEMEF), Mines Paris - PSL (École nationale supérieure des mines de Paris), Université Paris Sciences et Lettres (PSL)-Université Paris Sciences et Lettres (PSL)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA), Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UniCA), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), MajuLab, National University of Singapore (NUS)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UniCA), European Synchrotron Radiation Facility Grenoble (ESRF), ANR-20-CE24-0022,PEGADIS,Pendeo-Epitaxie de GaN pour les µ-DISplays(2020)
المصدر: ISSN: 0021-8898.
مصطلحات موضوعية: dark-field X-ray microscopy, synchrotron radiation, characterization, gallium nitride, coalescence, diffraction imaging, nanopillars, [PHYS]Physics [physics]
Relation: hal-04304004; https://hal.science/hal-04304004; https://hal.science/hal-04304004/document; https://hal.science/hal-04304004/file/xx5023.pdf
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12Academic Journal
المؤلفون: Gelineau, Guillaume, Widiez, Julie, Rolland, Emmanuel, Vladimirova, Kremena, Moulin, Alexandre, Prudkovskiy, Vladimir, Troutot, Nicolas, Gergaud, Patrice, Mariolle, Denis, Barbet, Sophie, Amalbert, Vincent, Lapertot, Gérard, Mony, Karine, Rouchier, Séverin, Boulet, Romain, Berre, Guillaume, Schwarzenbach, Walter, Bogumilowicz, Yann
المساهمون: Département Composants Silicium (DCOS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Instrumentation, Material and Correlated Electrons Physics (IMAPEC), PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS), Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA), SOITEC, European Project: 101007237,H2020-ECSEL-2020-1-IA-two-stage,TRANSFORM
المصدر: ISSN: 0255-5476.
مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
Relation: info:eu-repo/grantAgreement//101007237/EU/Trusted European SiC Value Chain for a greener Economy/TRANSFORM
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13Academic Journal
المؤلفون: Choisnet, Timothée, Hammouti, Abdelali, Gagneur, Vincent, Reche, Jerome, Rademaker, Guido, Freychet, Guillaume, Jullien, Guillaume, Ducote, Julien, Gergaud, Patrice, Le Cunff, Delphine
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), National Synchrotron Light Source II, Brookhaven National Laboratory Upton, NY (BNL), UT-Battelle, LLC-Stony Brook University SUNY (SBU), State University of New York (SUNY)-State University of New York (SUNY)-U.S. Department of Energy Washington (DOE)-UT-Battelle, LLC-Stony Brook University SUNY (SBU), State University of New York (SUNY)-State University of New York (SUNY)-U.S. Department of Energy Washington (DOE), European Project: 826589,MADEin4
المصدر: ISSN: 0277-786X.
مصطلحات موضوعية: CD, CDSAXS, metrology, benchmark, OCD, SEM, TEM, [PHYS]Physics [physics], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Relation: info:eu-repo/grantAgreement//826589/EU/Metrology Advances for Digitized ECS industry 4.0/MADEin4; cea-04286596; https://cea.hal.science/cea-04286596; https://cea.hal.science/cea-04286596/document; https://cea.hal.science/cea-04286596/file/Choisnet%20et%20al.%20-%202023%20-%20Critical%20dimension%20measurement%20from%20synchrotron%20s.pdf
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14Academic Journal
المؤلفون: Quintero, Andrea, Gergaud, Patrice, Hartmann, Jean-Michel, Reboud, Vincent, Rodriguez, Philippe
المصدر: Microelectronic Engineering ; volume 269, page 111919 ; ISSN 0167-9317
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15Academic Journal
المؤلفون: Boyer, Flore, Dabertrand, Karen, Bernier, Nicolas, Jany, Christophe, Gergaud, Patrice, Grégoire, Magali, Rafhay, Quentin, Rodriguez, Philippe
المساهمون: Agence Nationale de la Recherche
المصدر: Materials Science in Semiconductor Processing ; volume 154, page 107199 ; ISSN 1369-8001
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16Conference
المؤلفون: Nguyen, Kien, Leake, Stephen, Gergaud, Patrice, Vaxelaire, Nicolas
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), European Synchrotron Radiation Facility Grenoble (ESRF)
المصدر: E-MRS Spring Meeting 2022 ; https://cea.hal.science/cea-04327461 ; E-MRS Spring Meeting 2022, May 2022, Strasbourg, France ; https://www.european-mrs.com/meetings/2022-spring-meeting-0
مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
جغرافية الموضوع: Strasbourg, France
Relation: cea-04327461; https://cea.hal.science/cea-04327461; https://cea.hal.science/cea-04327461/document; https://cea.hal.science/cea-04327461/file/Abstract_Emrs_Final_ver4.pdf
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17Academic Journal
المؤلفون: Freychet, Guillaume, Maret, Mireille, Tiron, Raluca, Chevalier, Xavier, Gharbi, Ahmed, Fernandez‐Regulez, Marta, Gergaud, Patrice
المصدر: Journal of Polymer Science Part B Polymer Physics. 54(12)
مصطلحات موضوعية: copolymers, GISAXS, scanning electron microscopy, self-assembly, thin films, x-ray reflectivity, Physical Sciences, Chemical Sciences, Engineering, Polymers
وصف الملف: application/pdf
URL الوصول: https://escholarship.org/uc/item/7ff5f0x0
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18Academic Journal
المؤلفون: Reche, Jérôme, Gergaud, Patrice, Blancquaert, Yoann, Besacier, Maxime, Freychet, Guillaume
المساهمون: Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Brookhaven National Laboratory Upton, NY (BNL), UT-Battelle, LLC-Stony Brook University SUNY (SBU), State University of New York (SUNY)-State University of New York (SUNY)-U.S. Department of Energy Washington (DOE)
المصدر: ISSN: 0894-6507 ; IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing ; https://cea.hal.science/cea-04249757 ; IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2022, 35 (3), pp.425 - 431. ⟨10.1109/TSM.2022.3176026⟩ ; https://ieeexplore.ieee.org/document/9777758/authors#authors.
مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Relation: cea-04249757; https://cea.hal.science/cea-04249757; https://cea.hal.science/cea-04249757/document; https://cea.hal.science/cea-04249757/file/20220103_JR_IEEE_V1-YB-PG.pdf
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19Academic Journal
المؤلفون: Coudurier, Nicolas, Quintero, Andrea, Loup, Virginie, Gergaud, Patrice, Hartmann, Jean-Michel, Mariolle, Denis, Reboud, Vincent, Rodriguez, Philippe
المساهمون: Agence Nationale de la Recherche, ANR
المصدر: Microelectronic Engineering ; volume 257, page 111737 ; ISSN 0167-9317
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20Academic Journal
المؤلفون: Quintero, Andrea, Gergaud, Patrice, Hartmann, Jean-Michel, Reboud, Vincent, Cassan, Eric, Rodriguez, Philippe
المساهمون: Agence Nationale de la Recherche, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
المصدر: Microelectronic Engineering ; volume 252, page 111667 ; ISSN 0167-9317