المؤلفون: Deryzemlia, A. M., Kryshtal, P. G., Radchenko, V. I., Yevsiukov, O. I., Khizhnyak, D. A., Shirokov, B. M.

المصدر: Вестник Харьковского национального университета имени В. Н. Каразина. Серия «Физика»; Том 1158, № 22 (2015); 18-22 ; Вісник Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна. Серія «Фізика»; Том 1158, № 22 (2015); 18-22 ; ‎2073-3771 ; 2222-5617

مصطلحات موضوعية: RF generator, cylindrical inductively coupled plasma, silicon tetrachloride, ВЧ генератор, цилиндрический индукционный разряд, тетрахлорид кремния, циліндричний індукційний розряд, тетрахлорид кремнію

وصف الملف: application/pdf

Relation: http://periodicals.karazin.ua/physics/article/view/7794/7267; http://periodicals.karazin.ua/physics/article/view/7794

الاتاحة: http://periodicals.karazin.ua/physics/article/view/7794

المؤلفون: Deryzemlia, A. M., Kryshtal, P. G., Dmitry Malykhin, Radchenko, V. I., Shirokov, B. M.

المصدر: Scopus-Elsevier

مصطلحات موضوعية: Физика и технология конструкционных материалов

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::24cb6108653f0d95040155b765aaf102
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79911