يعرض 1 - 9 نتائج من 9 نتيجة بحث عن '"De Lehelle d'Affroux, Anaïs"', وقت الاستعلام: 0.40s تنقيح النتائج
  1. 1
    Conference
    Multi-height pillars replication from a grayscale resist master by nanoimprint process

    المؤلفون: Warsono, Api, Fernandez Rodas, Diana, Rêche, Jérôme, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Sabbione, Chiara

    المساهمون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo

    المصدر: Novel Patterning Technologies 2024

    الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.3014929

    View record in BASE

    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    Conference
    Overlay performances of wafer scale nanoimprint lithography

    المؤلفون: Rêche, Jérôme, Warsono, Api, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Khan, Jonas, Haumann, Sebastian, Kneidinger, Andrea

    المساهمون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo

    المصدر: Novel Patterning Technologies 2023

    الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2655105

    View record in BASE

    أضف إلى المفضلة
  3. 3
    Conference
    Replication of 3D patterns from a grayscale resist master by nanoimprint process

    المؤلفون: Warsono, Api, Fernandez Rodas, Diana Stephany, Rêche, Jérôme, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Bérard-Bergery, Sébastien

    المساهمون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo

    المصدر: Novel Patterning Technologies 2023

    الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2658384

    View record in BASE

    أضف إلى المفضلة
  4. 4
    Conference
    Wafer scale nanoimprint lithography: distortion improvement and stabilization

    المؤلفون: Rêche, Jérôme, Argoud, Maxime, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Al Dujaili, Haidar, Khan, Jonas, Haumann, Sebastian, Ledel, Peter, Eibelhuber, Martin

    المساهمون: Panning, Eric M., Liddle, J. Alexander

    المصدر: Novel Patterning Technologies 2022

    الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2613788

    View record in BASE

    أضف إلى المفضلة
  5. 5
    Periodical
    Overlay performances of wafer scale nanoimprint lithography

    المؤلفون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo, Reche, Jerome, Warsono, Api, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Khan, Jonas, Haumann, Sebastian, Kneidinger, Andrea

    المصدر: Proceedings of SPIE; May 2023, Vol. 12497 Issue: 1 p124970Q-124970Q-5, 1124736p


    أضف إلى المفضلة
  6. 6
    Periodical
    Replication of 3D patterns from a grayscale resist master by nanoimprint process

    المؤلفون: Liddle, J. Alexander, Ruiz, Ricardo, Warsono, Api, Fernandez Rodas, Diana, Rêche, Jérôme, De Lehelle d'Affroux, Anaïs, Berard Bergery, Sébastien

    المصدر: Proceedings of SPIE; May 2023, Vol. 12497 Issue: 1 p124970A-124970A-7, 1124738p


    أضف إلى المفضلة
  7. 7
    Periodical
    Integration of sub 50 nm features based on EVG SmartNIL for 8-inch substrates

    المؤلفون: Panning, Eric M., Rêche, Jérôme, Argoud, Maxime, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Benotmane, Khatia, Haumann, Sebastian, Khan, Jonas, Eibelhuber, Martin

    المصدر: Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11610 Issue: 1 p116100C-116100C-7, 1044908p


    أضف إلى المفضلة
  8. 8
    Conference
    Integration of sub 50 nm features based on EVG SmartNIL for 8-inch substrates.

    المؤلفون: Panning, Eric M., Rêche, Jérôme, Argoud, Maxime, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Benotmane, Khatia, Haumann, Sebastian, Khan, Jonas, Eibelhuber, Martin

    المصدر: Proceedings of SPIE; 11/3/2020, Vol. 11610, p116100C-116100C-7, 1p


    أضف إلى المفضلة
  9. 9
    Periodical
    Wafer scale nanoimprint lithography: distortion improvement and stabilization

    المؤلفون: Panning, Eric M., Liddle, J. Alexander, Reche, Jerome, Argoud, Maxime, De Lehelle D'Affroux, Anaïs, Al Dujaili, Haidar, Khan, Jonas, Haumann, Sebastian, Ledel, Peter, Eibelhuber, Martin

    المصدر: Proceedings of SPIE; May 2022, Vol. 12054 Issue: 1 p1205404-1205404-7


    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء