-
1Academic Journal
المؤلفون: Chi-Chieh Wang, Cheng-Fu Wang, Meng-Chi Li, Li-Chen Su, Chien-Cheng Kuo
المصدر: Technologies, Vol 13, Iss 1, p 11 (2024)
مصطلحات موضوعية: nanolaminates, PEALD, crystallization, surface roughness, ductility, hafnium dioxide, Technology
وصف الملف: electronic resource